[实用新型]一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶圆切割机技术领域，尤其涉及一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构。 

背景技术

晶圆切割机又称为划片机，主要用于半导体行业中将硅片及各类陶瓷材料的切割成小块，晶圆切割机通过配备底座、精密直线导轨和高精密主轴等精密部件，保证晶圆切割机在生产中所需要的精度。现有的晶圆切割机的底座一般采用铸铁或钢材制成，这种由铸铁或钢材制成的底座存在温度影响而变形、减震和防震效果不理想等缺陷，需要进一步改进。  

发明内容

为克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种能够有效防震、不易受温度影响而变形的防震不易变形的晶圆切割机底座结构。 

本实用新型为达到上述技术目的所采用的技术方案是：一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔，所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座。 

所述底座的厚度为80mm以上。 

本实用新型的有益效果是:采用上述结构，将晶圆切割机底座改为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座，人造花岗岩或人造大理石的温差系数低、不容易变形，人造花岗岩或人造大理石的防震性能优越 ，有利于提高晶圆切割机的稳定性和加工精度。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。其中： 

图1是本实用新型防震不易变形的晶圆切割机底座结构的示意图。 

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。 

请参阅图1所示，本实用新型防震不易变形的晶圆切割机底座结构包括设于晶圆切割机中的底座1，所述底座1上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台 11，所述导轨安装凸台11上设有精密直线导轨固定孔，所述底座1为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座。 

所述底座1的厚度为80mm以上。 

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。