[实用新型]清洁装置有效
| 申请号: | 201220329512.9 | 申请日: | 2012-07-09 |
| 公开(公告)号: | CN202725553U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
| 发明(设计)人: | 郑文达 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;B08B5/04 |
| 代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 清洁 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及液晶面板技术领域,尤其涉及一种用于阵列基板制造中的清洁装置。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)是利用液晶材料的特性来显示图像的一种平板显示装置(Flat Panel Display,FPD),其相较于其他显示装置而言具轻薄、低驱动电压及低功耗等优点,已经成为整个消费市场上的主流产品。
液晶面板是液晶显示器最主要的组成元件,液晶面板的制作工艺主要分为前段阵列制程、中段成盒制程及后段模组组装。其中,前段阵列制程包括:首先在基板上通过沉积薄膜层进行成膜;然后在薄膜层上涂光刻胶,并通过对其曝光、显影、蚀刻、去光刻胶等制程以形成扫描线、半导体层、数据线、保护层及透明导电层等。
上述阵列制程中,受各种因素的影响,所述扫描线、数据线可能存在短路或者断路的情况。因此,在前段阵列制程完成后,还需要对阵列基板进行相应的检测,以检测阵列基板的扫描线或数据线中是否存在短路或断路,若存在短路或断路,则需要通过修补机对其进行处理。当发现断路时,修补机先使用激光除去断路的两端点上的覆盖物,如半导体层等,然后在断路的两端点间进行镀膜,从而形成通路。
但是,在修补机用激光除去断路的两端点上的覆盖物时,覆盖物会碳化而形成杂质,并且修补机在进行补线镀膜时,阵列基板也会受其他制程的影响而残留有杂质,若补线镀膜下存在杂质,则修补机的补线镀膜在后续的清洗等制程中容易剥落,造成补线镀膜的成功率下降。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种清洁装置,旨在清除阵列基板上的残留物,提高修补机的镀膜成功率。
本实用新型提供了一种清洁装置,包括吸气管及吹气管;所述吹气管设置在所述吸气管的四周,所述吹气管相对于吸气管倾斜且呈异面设置。
优选地,所述清洁装置还包括一壳体,所述吸气管及吹气管均设置在所述壳体上;所述吸气管垂直壳体设置;所述吹气管具有吹气口,该吹气口向吸气管倾斜设置。
优选地,所述吸气管具有吸气口,所述吹气管的吹气口与壳体的垂直距离大于所述吸气管的吸气口与所述壳体的垂直距离。
优选地,所述吹气管的吹气口围合形成的面积小于或等于所述吸气管的吸气口的面积。
优选地,所述清洁装置还包括与所述吹气管连接的控制器,所述控制器用于控制所述吹气管的吹气口向所述吸气管运动。
优选地,所述清洁装置还包括一壳体,该壳体具有下表面,所述吸气管设置在所述壳体的中部且贯穿下表面;所述吹气管设置在所述壳体内且贯穿壳体的下表面。
所述吹气管具有吹气口,该吹气口的边缘具有导向环。
优选地,所述清洁装置还包括吹气装置及吸气装置,所述吸气装置与所述吸气管连通,所述吹气装置与所述吹气管连通。
优选地,所述清洁装置还包括控制所述吹气装置及吸气装置工作的控制器,所述控制器分别与所述吹气装置及吸气装置连接。
优选地,所述吹气管与所述壳体下表面之间的夹角为30°~60°。
本实用新型通过上述的清洁装置,可有效地清除阵列制程中阵列基板上的残留杂质,使得在对数据线或扫描线进行补线镀膜时,避免由于阵列基板上残留的杂质而造成补线镀膜在后续的清洗等制程中剥落,从而提高了补线镀膜的成功率。
附图说明
图1是本实用新型清洁装置第一实施例的结构示意图;
图2是图1中清洁装置的正视结构示意图;
图3是图1中清洁装置的仰视结构示意图;
图4是本实用新型清洁装置第二实施例的结构示意图;
图5是本实施新型清洁装置的第三实施例的结构示意图;
图6是图5所示清洁装置的仰视结构示意图;
图7是图6中清洁装置沿A-A线的剖面示意图。
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
以下结合说明书附图及具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
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