[实用新型]一种空气式真空泵

说明书

技术领域

本实用新型属于真空泵技术领域，特别涉及一种空气式真空泵。

背景技术

当今半导体行业中基本上都是使用的水循环式真空泵，真空泵的主要目的就是吸住半导体芯片保持一个稳定的真空度并且要防止吸取DI-WATER及杂质会发生以下问题：

1.水环式真空泵噪音比较大

2.在潮湿的环境中用电存在安全隐患

3.浪费水能源

4.故障率比较高

5.昂贵的维修及维护费用。

发明内容

本实用新型主要目的是为了解决上述问题，提供一种体积小、节能环保、噪音低、可以吸取杂质及DI-WATER并保持稳定的真空度，而且寿命长、故障率低、维修费用低的空气式真空泵。

为了达到上述目的，本实用新型提供的技术方案是：一种空气式真空泵，其包括上分离罐、下分离罐、数字式真空显示器、真空过滤器、真空发生器、进气电磁阀、调节器、空气过滤器、速度控制器、真空释放电磁阀、上分离罐执行器、下分离罐执行器、排水口、工作台和PLC控制器；上分离罐的一侧与工作台连接；上分离罐上方分别与数字式真空显示器和真空过滤器的一端连接；上分离罐的下方与下分离罐连接；上分离罐与下分离罐之间连接有上分离罐执行器；下分离罐下方设有排水口；下分离罐与排水口之间连接有下分离罐执行器；上分离罐执行器通过下分离罐执行器与排水口连接；真空过滤器的另一端依次连接真空发生器和进气电磁阀；进气电磁阀再分别与调节器、上分离罐执行器、速度控制器连接；速度控制器通过真空释放电磁阀与下分离罐连接；调节器还连接有空气过滤器；PLC控制器分别与上分离罐执行器、下分离罐执行器、进气电磁阀、真空释放电磁阀连接；

调节器与进气电磁阀之间还连接有数字式压力显示器，用于显示压缩空气的压力；

真空发生器还连接有压力传感器、消音器和真空传感器；压力传感器用于测量压缩空气压力值；真空传感器用于测量真空值；消音器起到降低噪音的作用。

本实用新型启动后压缩空气通过空气过滤器和调节器把空气中的杂质过滤掉并可以调节到特定压力；PLC控制器控制进气电磁阀动作给真空发生器供给压缩空气从而产生真空，此时上分离罐执行器打开，下分离罐执行器关闭保持上分离罐与下分离罐相通仍可以形成封闭的空间，上分离罐分离从工作台吸取回来的杂质及DI-WATER，存放在下分离罐中，当真空发生器产生的真空通过真空过滤器使上分离罐的真空度达到设定值并输出给工作台时开始计时一段时间后，PLC控制器控制关闭上分离罐执行器后再打开下分离罐执行器，而后再打开真空释放电磁阀把DI-WATER和杂质通过排水口排出，并通过速度控制器控制排出速度。

附图说明：

图1：本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

实施例：

如图1所示：一种空气式真空泵，其包括上分离罐1、下分离罐2、数字式真空显示器3、真空过滤器4、真空发生器5、进气电磁阀6、调节器7、空气过滤器8、速度控制器10、真空释放电磁阀11、上分离罐执行器12、下分离罐执行器13、排水口14、工作台15和PLC控制器19；上分离罐1的一侧与工作台15连接；上分离罐1上方分别与数字式真空显示器3和真空过滤器4的一端连接；上分离罐1的下方与下分离罐2连接；上分离罐1与下分离罐2之间连接有上分离罐执行器12；下分离罐2下方设有排水口14；下分离罐2与排水口14之间连接有下分离罐执行器13；上分离罐执行器12通过下分离罐执行器13与排水口14连接；真空过滤器4的另一端依次连接真空发生器5和进气电磁阀6；进气电磁阀6再分别与调节器7、上分离罐执行器12、速度控制器10连接；速度控制器10通过真空释放电磁阀11与下分离罐2连接；调节器7还连接有空气过滤器8；PLC控制器19分别与上分离罐执行器12、下分离罐执行器13、进气电磁阀6、真空释放电磁阀11连接；

调节器7与进气电磁阀6之间还连接有数字式压力显示器9，用于显示压缩空气的压力；

真空发生器5还连接有压力传感器16、消音器17和真空传感器18；压力传感器16用于测量压缩空气压力值；真空传感器18用于测量真空值；消音器17起到降低噪音的作用。

本实用新型启动后压缩空气通过空气过滤器8和调节器7把空气中的杂质过滤掉并可以调节到特定压力；PLC控制器19控制进气电磁阀6动作给真空发生器5供给压缩空气从而产生真空，此时上分离罐执行器12打开，下分离罐执行器13关闭保持上分离罐1与下分离罐2相通仍可以形成封闭的空间，上分离罐1分离从工作台15吸取回来的杂质及DI-WATER，存放在下分离罐2中，当真空发生器5产生的真空通过真空过滤器4使上分离罐1的真空度达到设定值并输出给工作台15时开始计时一段时间后，PLC控制器19控制关闭上分离罐执行器12后再打开下分离罐执行器13，而后再打开真空释放电磁阀11把DI-WATER和杂质通过排水口14排出，并通过速度控制器10控制排出速度。