[实用新型]立式石英笼舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英制品领域，特别是涉及一种立式石英笼舟。 

背景技术

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。立式石英笼舟是集成电路芯片生产线采用的晶片载体，一般用于离子注入、低压CVD、多晶硅生长等重要工序，精度要求很高，每片晶片在舟中都必须有精准的定位，完全实现机械手操作，所以对立式石英笼舟的稳定度要求非常高。现有的立式石英舟主体结构一般采用四根开槽石英棒，靠四根石英棒上的四个槽来卡住承载物，在反复取、放过程中承载物与卡槽间不断产生磨擦，使之卡槽内表层磨损，与承载物间的间隙越来越大，因此造成稍有振动立式石英舟上的承载物位置就发生了变化，甚至滑落，同时也会影响机械手操作的稳定可靠性。 

发明内容

针对上述领域中的不足，本实用新型提供一种立式石英笼舟，其插入硅片时对支撑物的摩擦小，使支撑物不易磨损，稳定性非常好，特别适用于大型的立式石英笼舟的结构。 

立式石英笼舟，包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定，其特征在于，所述开槽石英棒之间焊有若干片平行于上、下底盘的环片，每片环片的上表面焊接有三个石英支撑架。 

所述三个石英支撑架均匀分布在同一圆周上。 

所述开槽石英棒为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。 

所述下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台。 

所述四根开槽石英棒之间在水平方向固定有若干连接棒。 

所述连接棒为弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒上，其弧形的中心与梯形中心为同心。 

所述上、下底盘为圆环。 

为更好的保证立式石英笼舟的稳定性，减少相互磨损，可以在开槽石英棒焊有一组环片，在每层环片上需焊接三个石英支撑架，能够托住承载物又减少了承载物与环片的接触面积。优选三个支撑架均匀一个圆周上，增加了承载物的稳定性。 

本实用新型立式石英笼舟，采用四根开槽石英棒，由于内部要放置集成电路芯片生产线 采用的晶片，四根开槽石英棒必须在同一圆周上，为保证承载物的稳定性，四根开槽石英棒呈梯形分布，则承载物可以从梯形长边的一侧放入或取出。 

为解决立式石英笼舟位置的稳定性问题，本实用新型将立式石英笼舟下表面设计成与生产线相卡扣的凸台结构。生产线的水平面上可以设置相应的凹槽，将凸台卡在凹槽内，立式石英笼舟载物将相当平稳。 

为更好的保证立式石英笼舟的稳定性，如石英笼舟高度很高，且放置的承载物很多，可以在开槽石英棒之间固定连接棒以增加稳定性。优选将连接棒置于梯形的斜边侧。 

底盘可以设置成圆环形，使承载物在立式石英笼舟内处于上、下通透的状态。 

本实用新型从载物环片、石英支撑架等方面优化结构，提高了立式石英笼舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。 

附图说明

图1本实用新型主视图， 

图2图1中A-A向剖视图，图中各标号列示如下： 

1—开槽石英棒，2—上底盘，3—下底盘，4—环片，5—石英支撑架，6—凸台，7—连接棒。 

具体实施方式

如图1、2所示，本实用新型立式石英笼舟，包括开槽石英棒1，和固定于开槽石英棒1两端的相互平行的上底盘2和下底盘3，开槽石英棒1之间焊有若干环片4，在每片环片4上焊接三个石英支撑架5，三个石英支撑架均匀分布在环片上表面的同一圆周上，从而可以定位支撑承载物，同时减少了环片4对承载物的磨损，又保证了载物的稳定性。 

本实用新型采用四根开槽石英棒1，呈梯形分布，且位于同一圆周上，保证载物的稳定性，且承载物可以从梯形长边的一侧放入或取出。 

下底盘3的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台6，可与生产线的水平面上相应设置的凹槽相卡扣，使立式石英笼舟载物将相当平稳。 

如立式石英笼舟高度很高，且放置的承载物很多，可以在开槽石英棒1之间固定连接棒7以增加稳定性。优选将连接棒7置于梯形的斜边侧，连接棒7设计成弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒1上，其弧形的中心与梯形中心为同心，提高整个立式石英笼舟的稳定性。 

所述上、下底盘2、3可为圆环，使承载物在立式石英笼舟内处于上、下通透的状态。 

本实用新型从载物环片4、石英支撑架5等方面优化结构，提高了立式石英笼舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。