[实用新型]无尘室加湿系统有效
| 申请号： | 201220235206.9 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN202692280U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 萧炎泉;陈大伟 | 申请（专利权）人： | 萧炎泉;陈大伟 |
| 主分类号： | F24F3/14 | 分类号： | F24F3/14;F24F3/16;F24F11/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无尘室 加湿 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种无尘室加湿系统，应用于一无尘室，其特征在于，包括：
一外气空调箱，设置在该无尘室外部，以引进一外部空气；
一第一过滤装置，对该外部空气进行过滤；
一降温装置，对过滤后的空气进行一降温动作；
一除湿装置，对降温后的空气内多余的水气进行一除湿动作；
一风扇装置，使该除湿后的空气分散在该无尘室内；
一第二过滤装置，对该无尘室内的除湿后的空气、制程排气及二氧化碳进行过滤，产生一清净空气并送至该无尘室内；
多个区域，划分在该无尘室内；以及
一加湿装置，对该等区域进行一加湿动作。
2.根据权利要求1所述的无尘室加湿系统，其特征在于，该等区域内分别设有一感应单元，分别用于感应该等区域内的湿度是否足够，以产生一湿度不足信号。
3.根据权利要求2所述的无尘室加湿系统，其特征在于，该加湿装置，在接收到该湿度不足信号后，对该等区域的其中一区域进行该加湿动作。
4.根据权利要求1所述的无尘室加湿系统，其特征在于，该制程排气，是置放在该无尘室内的制程设备在运转时所排放的。
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