[实用新型]多晶硅锭装料室

权利要求书

1.一种多晶硅锭装料室，包括依次相连的第一壁(11)、第二壁(12)、第三壁(13)和第四壁(14)，所述第一壁(11)、第二壁(12)、第三壁(13)和第四壁(14)共同围成所述多晶硅锭装料室的侧壁，其特征在于，所述多晶硅锭装料室还包括：

装料工作区，所述装料工作区与所述第四壁(14)相连并且所述装料工作区包括沿所述第一壁(11)朝向第三壁(13)方向依次设置的第一缓冲间(21)和装料间(30)，所述装料工作区和所述第一壁(11)之间的区域形成备料室(40)，

其中，所述第一缓冲间(21)内具有吸尘除杂装置。

2.根据权利要求1所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述备料室(40)和第一缓冲间(21)之间的第五壁上设置有第一门(61)，所述第一缓冲间(21)和装料间(30)之间的第六壁上设置有第二门(62)，所述装料间(30)的与所述第六壁相对的第七壁上设置有第三门(63)。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述装料工作区还包括室内温度高于所述装料间(30)的第二缓冲间(22)，所述第二缓冲间(22)设置在所述装料间(30)的远离所述第一缓冲间(21)的一侧。

4.根据权利要求3所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述第二缓冲间(22)和所述第三壁(13)之间的第八壁上设置有第四门(64)。

5.根据权利要求3所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述第二缓冲间(22)内设置有除湿机。

6.根据权利要求3所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述第一缓冲间(21)、装料间(30)和第二缓冲间(22)均为多个，并且所述第一缓冲间(21)、装料间(30)和第二缓冲间(22)的数量相同。

7.根据权利要求2所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述装料间(30)包括所述第六壁和所述第七壁以及连接在所述第六壁和第七壁之间的相对设置的两个第九壁，所述两个第九壁、所述第六壁和所述第七壁中至少一个壁的底部设有排风装置(31)。

8.根据权利要求7所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述装料间(30)还包括连接在所述第六壁、第七壁和两个第九壁顶端的顶壁，所述顶壁上设有摄像头(32)。

9.根据权利要求1所述的多晶硅锭装料室，其特征在于，所述装料工作区和所述第二壁(12)及第三壁(13)之间的区域形成人员通道(50)。