[实用新型]一套检查FA产品散光的装置有效
| 申请号： | 201220166358.8 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN202547902U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 彭延斌;樊建银;余朝晃;唐淋;吴忠标 | 申请（专利权）人： | 新中合光电科技（保靖）有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 416500 湖南省湘西土家*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一套 检查 fa 产品 散光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一套检查FA产品散光的装置，它包括光源（1）、夹具（4）、电子显微镜（5）和显示器（6）；其特征是：夹具（4）连接有光源（1），夹具（4）装于三维调整架（2）上，并且夹具（4）置于电子显微镜（5）下，电子显微镜（5）连接显示器（6）。
2.根据权利要求1所述的一套检查FA产品散光的装置，其特征在于所述的三维调整架（2）的运动轨迹为X.Y.Z三个方向的精密移动。
3.根据权利要求1所述的一套检查FA产品散光的装置，其特征在于所述的电子显微镜（5）的成像系统采用连续变倍电子显微镜。
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