[实用新型]一种工夹具清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池制造领域，具体涉及一种工夹具清洗机。

背景技术

在太阳电池或半导体制造领域，通常会用氮化硅或二氧化硅作为掩模层或绝缘介质层，相应工序的工夹具在使用一段时间后均会沉积一定厚度的氮化硅或二氧化硅薄膜，例如等离子增强化学气相沉积(PECVD)工序的石墨舟上会在长时间镀膜后其表面沉积一厚层氮化硅，此时需将石墨舟放置在氢氟酸(HF)溶液中清洗以去除其表面的氮化硅。

应用于上述太阳电池或半导体领域的工夹具清洗机，一般是使用机械传动方式将石墨舟等工夹具传送进酸洗槽和水洗槽分别进行酸洗、水洗。由于氢氟酸具有腐蚀性，导致传动部分易被腐蚀损坏进而导致其性能不可靠；另外当工夹具被从氢氟酸槽中捞取出来时，易发生氢氟酸液体四处滴溅，导致清洗机周围槽体上到处是氢氟酸残液，存在着很大的安全隐患。

因此，如何提供一种工夹具清洗机以避免在氢氟酸溶液中传送或捞取工夹具，从而提高清洗机的可靠性并清除安全隐患，已成为业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本发明的目的是要提供一种工夹具清洗机，通过所述清洗机可以避免在氢氟酸溶液中传送或捞取工夹具，从而提高清洗机的可靠性并清除安全隐患。

为实现上述目的，本实用新型将提供一种工夹具清洗机，包括用于清洗石墨舟的清洗槽，所述清洗机还包括：储液槽，用于储存清洗工夹具的清洗液；液体驱动模块，用于驱动清洗液在清洗槽和储液槽间进行交换，所述液体驱动模块分别通过第一管道和第二管道连接至清洗槽和储液槽；以及控制模块，用于依据工夹具的清洗状况控制液体驱动模块驱动清洗液在清洗槽和储液槽间进行交换。

在上述工夹具清洗机中，所述液体驱动模块包括第一单向隔膜泵和第二单向隔膜泵，所述第一单向隔膜泵通过第一管道和第二管道连接至清洗槽和储液槽，所述第二单向隔膜泵通过第三管道和第四管道连接至清洗槽和储液槽。

在上述工夹具清洗机中，所述第一管道、第二管道、第三管道和第四管道上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门。

在上述工夹具清洗机中，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门均为气动阀。

在上述工夹具清洗机中，所述液体驱动模块为双向隔膜泵，所述双向隔膜泵通过第一管道和第二管道连接至清洗槽和储液槽。

在上述工夹具清洗机中，所述第一管道和第二管道上分别设置有第一阀门和第二阀门。

在上述工夹具清洗机中，所述第一阀门和第二阀门均为气动阀。

在上述工夹具清洗机中，所述工夹具清洗机还包括时间继电器或/和设置在清洗槽和储液槽中的液位开关，所述控制模块依照液位开关和时间继电器的动作来控制液体驱动模块作动。

在上述工夹具清洗机中，所述清洗液为氢氟酸溶液，所述工夹具为石墨舟或石英舟。

在上述工夹具清洗机中，所述工夹具清洗机还包括供水模块，所述控制模块还依据石墨舟的清洗状况控制供水模块向清洗槽供水。

与现有技术中通过机械方式将工夹具传送进氢氟溶液及直接从氢氟酸溶液中捞取工夹具相比，本实用新型先将工夹具传送进清洗槽，然后通过控制模块控制液体驱动模块将氢氟酸溶液传送至清洗槽中对工夹具进行清洗，在清洗结束后再控制液体驱动模块将氢氟酸溶液传送至储液槽中，之后再控制供水模块向清洗槽中供水对工夹具进行水洗，从而可提高清洗机的可靠性和安全性。

附图说明

图1为本实用新型的工夹具清洗机的第一实施例的组成结构示意图；

图2为本实用新型的工夹具清洗机的第二实施例的组成结构示意图；以及

图3为本实用新型的工夹具清洗机的第三实施例的组成结构示意图。

具体实施方案

下面结合具体实施例及附图来详细说明本实用新型的目的及功效。

参见图1，本实用新型的工夹具清洗机，包括清洗槽1、储液槽2、液体驱动模块3、供水模块4、液位开关5和控制模块6。以下对本实用新型的各构件进行详细说明。所述清洗液为氢氟酸溶液，所述工夹具为石墨舟或石英舟等。

所述清洗槽1用于清洗石墨舟。所述储液槽2用于储存清洗工夹具的清洗液。