[实用新型]一种硅片取片系统有效
| 申请号: | 201220042709.4 | 申请日: | 2012-02-10 |
| 公开(公告)号: | CN202443958U | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
| 发明(设计)人: | 朱绍明;戴军 | 申请(专利权)人: | 苏州罗博特科自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 张坚 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 系统 | ||
技术领域
本实用新型属于光伏硅片制造技术领域,尤其涉及硅片取片系统。
背景技术
利用光学影像系统配合编码器对传送带上的物体进行定位和抓取技术已经被广泛使用。目前光伏行业链式湿法化学工艺的下片系统也采用这一种方法。但是该方法的光学系统不能受到外界光的干扰而需要密封,从而构造要求高。
实用新型内容
为此,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单的硅片取片系统,以克服现有技术存在的不足。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下的技术方案:
一种硅片取片系统,包括电机,由电机驱动的多个传送带,以及配备的编码器,所述传送带上方设置有取片机器人,其特征在于:所述多个传送带上方分别设有一个反射式光电传感器。
在本实用新型具体实施方式中,所述传送带有五道,所述反射式光电传感器有五个,分别设置于五道传送带上方。
所述编码器安装在传送带的轴上。
光伏行业链式湿法化学工艺出口处的硅片仍然是比较有规律的,即每一个传送带上的硅片之间有间隔,传送带与传送带之间的硅片有固定间隔。根据这一特点,通过在传送带上方设置反射式光电传感器探测硅片的到来。多个传输带由一个电机驱动并配备一个编码器。这样取片机器人用多个反射式光电传感器和一个编码器就可以对多个传送带上的硅片进行定位和抓取任务。而采用反射式光电传感器工作不受外界环境的影响,不需要密封,构造简单。因此,本实用新型的硅片取片系统具有结构简单的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明:
图1为本实用新型的结构示意图;
图中:
1-反射式光电传感器,2-编码器,3-取片机器人,4-传送带,5-电机。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型的硅片取片系统,包括电机5、由电机5驱动的多个传送带4,以及配备的编码器2,传送带4上方设置有取片机器人3,多个传送带4上方分别设有一个反射式光电传感器1。
在本实施列中,传送带4有五道,反射式光电传感器1有五个。具体地,五道传送带4设置在一根轴上,轴的一端连接电机5.另一端安装编码器2。传送带4的数量可以根据产量进行设置,也可以是四道或者八道。
本实用新型型根据光伏行业链式湿法化学工艺出口处的硅片分布有规律的特点,通过在传送带4上方设置反射式光电传感器1探测硅片的到来。这样取片机器人用多个反射式光电传感器和一个编码器就可以对多个传送带上的硅片进行定位和抓取任务。而采用反射式光电传感器工作不受外界环境的影响,不需要密封,构造简单。
因此,本实用新型的硅片取片系统具有结构简单的优点。
但是,本技术领域中的普通技术人员应当认识到,以上的实施例仅是用来说明本实用新型,而并非用作为对本实用新型的限定,只要在本实用新型的实质精神范围内,对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





