[实用新型]尺寸可调平面陶瓷靶材模具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种模具，特别是一种尺寸可调平面陶瓷靶材模具。

背景技术

成型是平面陶瓷靶材生产的必要过程。模压成型又以其成本低，速度快，适合规模生产成为目前平面陶瓷靶材成型的主要手段。模压成型需要使用到靶材成型模具，普通的平面陶瓷靶材模具由模框和上下模冲组成，模框是一体结构，尺寸固定不可以调节，一组模具仅适合生产一种尺寸的靶材。

平面陶瓷靶材是用于磁控溅射设备的溅射镀膜源，不同的镀膜线对靶材的尺寸要求不一样，且在靶材的使用过程中普遍存在拼接的现象（将尺寸较小的几片靶材拼成尺寸较大的靶材），这就导致靶材尺寸类型繁多，生产过程，企业需要准备数量庞大的不同尺寸的模具，不仅增加了制模的费用，增加生产成本，使模具管理繁琐，而且若需要临时购制模具，交货期将延长15～30天，易造成产品交货时间延误，严重影响企业竞争力。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种一组模具可以生产几种不同尺寸靶材，节约制模费用，降低了生产成本，缩短制模时间，减少工期的尺寸可调平面陶瓷靶材模具，解决了上述现有技术中存在的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种尺寸可调平面陶瓷靶材模具，包括凹模、N个不同尺寸的上模和N个与上模配套的下模，所述的凹模是主要由2块横向设置的固定边板和2块纵向设置的移动边板构成的中空模框，固定边板上端面和侧面均分布有M组安装孔，与固定边板连接的移动边板两端面和朝上面的两端均开有1组螺纹孔，2块移动边板通过连接件安装在2块固定边板上，组合后上模和下模分别置于凹模内的上部和下部，上模和下模之间形成放置陶瓷粉末的空腔，N的取值为2-10，M的取值为3-8。

所述的凹模的固定边板侧面安装孔上边缘至固定边板底端面的距离L小于下模的高度。

所述的连接件是沉头螺栓。

本实用新型之尺寸可调平面陶瓷靶材模具的凹模采用拼接而成具有尺寸可调的结构。凹模主要由移动边板和固定边板组成，固定边板上开有多组安装孔，移动边板可以移动位置，即可以选择不同的安装孔与固定边板连接，这样可得到不同尺寸的模框，并对应的配套有多组尺寸不同的上模和下模。另外，凹模的固定边板侧面安装孔上边缘至固定边板底端面的距离L小于下模的高度，故凹模侧面的安装孔可以被下模挡住，不影响物料的盛装。本实用新型单个凹模模框可以对应多个上下模冲，一组模具可以生产几种不同尺寸靶材，减少了制模费用，降低了生产成本；还有凹模的尺寸多样，不会轻易出现需要临时购制模具的情况，避免了因无相应尺寸模具而影响正常生产的情况，缩短制模时间，减少了工期，提高生产效率，提高了企业竟争力。

下面，结合附图和实施例对本实用新型之尺寸可调平面陶瓷靶材模具的技术特征作进一步的说明。

附图说明

图1：本实用新型之尺寸可调平面陶瓷靶材模具结构示意图。

图2-图4：本实用新型之凹模结构示意图。

图2：俯视图。

图3：图2的A-A剖视图。

图4：主视图。

图中：1-上模，2-凹模，21-移动边板，22-固定边板，3-下模。

具体实施方式

实施例1：一种尺寸可调平面陶瓷靶材模具，如图1-图4所示，包括凹模2、N个不同尺寸的上模1和N个与上模配套的下模3，所述的凹模2是主要由2块横向设置的固定边板22和2块纵向设置的移动边板21构成的中空模框，固定边板22上端面和侧面均分布有M组安装孔——沉孔，与固定边板连接的移动边板21两端面和朝上面的两端均开有1组螺纹孔，根据实际需要生产的靶材尺寸选择固定边板上的合适沉孔，2块移动边板21通过连接件——沉头螺栓安装在2块固定边板22的上，组合后上模1和下模3分别置于凹模内的上部和下部，上模和下模之间形成放置陶瓷粉末的空腔，所述的凹模的固定边板22侧面安装孔上边缘至固定边板底端面的距离L小于下模3的高度，使得凹模侧边沉孔的位置能够被组装的下模完全挡住，不影响物料盛装。N的取值为2-10，M的取值为3-8。

作为本实施例的一种变换，所述的连接件除了沉头螺栓外，还可以采用其他方便拆装的连接件将移动边板与固定边板连接。

本实用新型与普通平面陶瓷靶材模具不同的是，凹模是拼接而成且具有尺寸可调节的结构，使得单个模框可以对应多个上下模冲，一组模具可以生产几种不同尺寸靶材，节约制模费用和制模时间，提高生产效率。