[发明专利]一种无机/有机多层复合隔膜的制备方法

权利要求书

1.一种无机/有机多层复合隔膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

1） 将隔膜浸泡在有机溶剂中，超声波震荡15～30min清洗隔膜表面，在烘箱中干燥 ，然后将其裁剪为方形隔膜；

2） 将上述方形隔膜及靶材放入射频溅射设备中；

3） 调整射频溅射设备的气压为0.1~1.0Pa，后充入反应气体，溅射功率为5～80W、溅射时间为5~100min ；

4） 运行设备，靶材等离子体轰击气体分子后形成无机物/有机物沉积在隔膜的两侧，制得无机/有机多层复合隔膜。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1）中， 所述的隔膜是聚乙烯隔膜、聚丙烯隔膜、聚丙烯/聚乙烯/聚丙烯多层复合隔膜、聚丙烯无纺布中的一种。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤1）中，所述的有机溶剂是丙酮、无水乙醇、甲醇、正己烷中的一种或几种。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤2）中，所述的靶材是金属靶材、非金属靶材或它们的混合物靶材；所述金属靶材是镍靶、铝靶、钴靶、锆靶或锌靶；非金属靶材是硅靶；混合物靶材是硅铝靶。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤3）中，所述射频溅射设备的气压为0.7Pa，溅射功率为15w，溅射时间为30min。

6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤3）中，所述的反应气体是高纯氧气、氮气中的一种或两种。