[发明专利]激光光束分析仪校准方法及系统

权利要求书

1.一种激光光束分析仪的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

将激光器发出的激光束经一平行光场产生装置整形成平行光束场；

所述平行光束经一衰减器的衰减后，再经过一具有标准孔径的光阑形成标准束宽的平顶光束，其中，所述平行光束的传播方向平行于所述光阑的法线方向，且所述平行光束的场半径大于所述光阑的半径；

所述标准束宽的平顶光束垂直入射到被校激光光束分析仪的探测器传感面上，测量多个所述标准束宽的平顶光束的光束宽度d_DUT，并取所述多个平顶光束的光束宽度d_DUT的平均值

根据公式计算激光光束分析仪的光束宽度修正因子C，完成对激光光束分析仪光束宽度测量值的校准，其中，d_s为所述光阑的孔径值，k为常数。

2.根据权利要求1所述的激光光束分析仪测量光束宽度的校准方法，其特征在于，所述光阑紧贴在探测器传感面上。

3.根据权利要求1所述的激光光束分析仪测量光束宽度的校准方法，其特征在于，测量6个以上所述标准束宽的平顶光束的光束宽度d_DUT。

4.一种激光光束分析仪校准系统，其特征在于，包括激光器、平行光场产生装置、衰减器、具有标准孔径的光阑以及被校激光光束分析仪；

所述平行光场产生装置用于将所述激光器发出的激光束整形成平行光束场；

所述衰减器紧贴在所述光阑位于入射光一侧的端面上，用于调节入射到所述光阑上的平行光束的强度，以及减少背景辐射对测量结果的影响；

所述具有标准孔径的光阑紧贴在所述被校激光光束分析仪探测器的传感面上，用于将入射的平行光束整形成标准束宽的平顶光束；

所述被校激光光束分析仪用于测量所述标准束宽的平顶光束。

5.根据权利要求4所述的激光光束分析仪校准系统，其特征在于，所述平行光场产生装置包括依次设置在所述校准系统光路上的与所述激光器波长匹配的光纤准直器、单模光纤和光学会聚模块；

所述光纤准直器用于将激光束耦合至所述单模光纤；

所述单模光纤用于形成点光源；

所述光学会聚模块用于将点光源转化为平行光束场。

6.根据权利要求4所述的激光光束分析仪校准系统，其特征在于，所述光阑采用铟钢材料。

7.根据权利要求4所述的激光光束分析仪校准系统，其特征在于，所述激光器为氦氖激光器。