[发明专利]一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法

权利要求书

1.一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于按照以下步骤进行：

（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；

（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。

2. 根据权利要求1所述的一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述固体金属为铝、镁、钠、钙。

3. 根据权利要求1所述的一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述预定温度，当固体金属为铝时，预定温度大于660℃，当固体金属为镁时，预定温度大于649℃；当固体金属为钠时，预定温度大于98℃，当固体金属为钙时，预定温度大于842℃。

4. 根据权利要求1所述的一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述预定温度，当固体金属为铝时，预定温度为700℃-950℃；当固体金属为镁时，预定温度为660℃-900℃；当固体金属为钠时，预定温度为120℃-450℃；当固体金属为钙时，预定温度为860℃-1000℃。

5. 根据权利要求1所述的一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于所述PFCs气体为CF₄、C₂F₆、C₃F₈、CCl₂F₂或者上述气体中的一种或几种按照任意比混合。