[发明专利]一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置在审

专利信息
申请号: 201210480424.3 申请日: 2012-11-23
公开(公告)号: CN103838409A 公开(公告)日: 2014-06-04
发明(设计)人: 任伟锋;俞忠;曹贇 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041;G06F3/0482
代理公司: 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 代理人: 张静洁;徐雯琼
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 湿法 清洗 设备 触摸屏 操作 预防 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种晶片湿法清洗设备,尤其涉及一种晶片湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置。

背景技术

在晶片生产中,每天在固定的时间需对湿法清洗设备进行化学液更换作业,此时,由于设备检测到的信号与正常生产时检测到的信号不同,设备会发出报警信息,为了消除报警信息需要点击清洗设备触摸屏上显示的菜单中的“故障清除”功能键,以使清洗设备重新检测各种信号,以促进化学液进程继续进行。由于某些湿法清洗设备的菜单中“故障清楚”功能键和“停止”功能键离得很近,日常操作中经常发生点击“故障清除”功能键时误碰触到旁边的“停止”功能键,而一旦发生这样的误操作,会使得正在正常生产的清洗设备突然停止,造成产品报废。现有的方法是通过修改湿法清洗设备的软件进行解决,但此方法成本高昂。

发明内容

本发明提供了一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,能够预防对湿法清洗设备误操作造成突然停机,减少由此造成的产品报废,提高产品合格率,减少故障停机时间,并且该装置使用方便,成本低廉。

本发明通过以下技术方案实现:

一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,设置在湿法清洗设备的触摸屏上,其特点是,所述的装置包括一块防护板,所述的防护板上设置多个贯通的开口,所述的开口位置与触摸屏上需使用的功能键的位置相对应。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,其特点是,所述的开口设置为各种不同的几何形状,各个所述的开口根据触摸屏上显示的需使用的功能键的大小设置为不同的尺寸和位置。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,其特点是,所述的防护板为透明材料。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,其特点是,多个所述的开口的位置与触摸屏上显示的不同菜单的需使用的功能键的位置相对应。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,其特点是,所述的防护板与触摸屏之间留有间隙,将防护板与触摸屏隔离。

本发明具有以下有益效果:本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置由于包含防护板,防护板与湿法清洗设备的触摸屏之间留有间隙,并且防护板上设置有多个开口,因此操作人员仅能通过各个开口触碰操作触摸屏上显示的菜单中对应于防护板上各个开口位置的功能键,而不会触碰到其它任何功能键,预防了对触摸屏误操作的发生,防止了由于误操作造成突然停机而造成的产品报废,减少了由于误操作引起的故障停机时间,从而改善了湿法清洗设备的运行时间;本发明由于包含的防护板为透明材料,在实现预防误操作的同时能够清晰的观察触摸屏上显示的菜单和数据信息;本发明由于包含的防护板上设置的多个开口的形状、尺寸、位置根据触摸屏上显示的不同菜单进行设置,其位置与触摸屏上显示的不同菜单的需使用的功能键的位置相对应,因此适应性强,一个湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置可以对同一设备触摸屏上显示的不同菜单的功能键操作并预防误操作,不需频繁更换湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置,方便易用;本发明由于结构简单,安装与拆卸方便,不需更改现有湿法清洗设备的软件和硬件,因此成本低廉。

附图说明

图1为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例一的结构示意图;

图2为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例二的结构示意图;

图3为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例一对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主目录界面的示意图;

图4为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例一对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主操作界面的示意图;

图5为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例二对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主目录界面的示意图;

图6为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例二对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主操作界面的示意图。

具体实施方式

以下结合附图,通过详细说明一个较佳的具体实施例,对本发明做进一步阐述。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司,未经上海华虹宏力半导体制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210480424.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top