[发明专利]一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺

权利要求书

1.一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，所述尾气的组分包括H₂、HCl、HSiCl₃、SiCl₄、H₂SiCl₂，其特征在于所述新工艺包括以下步骤：

冷却步骤：将还原炉输出的温度为500~600℃的尾气经第一次冷却后输送到HCl转化器；

反应步骤：在HCl转化器中HCl与HSiCl₃、H₂SiCl₂反应完全生成相应的氯硅烷；

气液分离步骤：将HCl转化器出来的尾气经第二次冷却后，尾气温度降至常温，再用SiCl₄冷冻液进行喷淋，对H₂与氯硅烷进行气液分离；

H₂纯化步骤：将H₂经过吸附柱进行吸附除杂后，进行回收处理；

与H₂纯化步骤同时进行的HSiCl₃分离步骤：将氯硅烷液体经过精馏后，再将分离出的HSiCl₃进行回收处理。

2.根据权利要求1所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述冷却步骤中，经第一次冷却后进入HCl转化器的尾气温度为50~400℃。

3.根据权利要求1或2所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述冷却步骤与气液分离步骤中，分别采用换热器作为第一次冷却与第二次冷却的冷却设备。

4.根据权利要求1所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述反应步骤中，反应温度为50~500℃，压力为0.1MPa~2.0MPa。

5.根据权利要求4所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述反应步骤中，采用固定床反应器、流化床反应器或移动床反应器作为HCl转化器。

6.根据权利要求5所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述反应步骤中，采用多个HCl转化器，并用串联方式将多个HCl转化器连接。

7.根据权利要求5或6所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述反应步骤中，在HCl转化器中添装有催化剂。

8.根据权利要求7所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述反应步骤中，添装的催化剂为分子筛催化剂、金属催化剂、高分子交联树脂催化剂、金属离子负载型催化剂中的一种。

9.根据权利要求1所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述H2纯化步骤中，H2吸附柱中装有吸附剂，吸附剂为活性炭、硅胶或MCM-41分子筛中的一种。

10.根据权利要求1所述的一种回收多晶硅生产所产生的尾气的新工艺，其特征在于：所述H₂纯化步骤中，将H₂经过吸附柱进行吸附除杂后，输送给还原炉进行回收处理；所述与H₂纯化步骤同时进行的HSiCl₃分离步骤中，将氯硅烷液体经过精馏后，再将分离出的HSiCl₃输送给还原炉进行回收处理。