[发明专利]在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法

权利要求书

1.在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，具体是按以下步骤完成的：

一、将多孔基底材料浸渍在前驱体溶液中，得到覆盖多孔基底材料的一层前驱体溶液；

二、在25℃~80℃的温度和60%~85%的空气湿度的条件下，对步骤一得到的覆盖多孔基底材料的一层前驱体溶液在100kV/m~1000kV/m的静电场下挥发溶剂，持续时间为10min~100min，得到经电场处理的覆盖多孔基底材料的前驱体沉积层；

三、将步骤二得到的经电场处理的覆盖多孔基底材料的前驱体沉积层，在700℃~1500℃的温度条件下，烧结60min~120min，即完成了在多孔基底材料上高致密度金属氧化物薄膜的制备。

2.根据权利要求1所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的步骤一中的前驱体溶液由溶质、溶剂、络合剂、表面活性剂和分散剂制备而成的，其中溶质为金属盐。

3.根据权利要求1或2所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的前驱体溶液中的络合剂为甘氨酸、柠檬酸和乙二胺四乙酸中的一种或其中几种的组合物。

4.根据权利要求1或2所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的前驱体溶液中的表面活性剂为聚乙烯醇、聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮和2-甲氧基乙醇中的一种或其中几种的组合物。

5.根据权利要求1或2所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的前驱体溶液中的分散剂为乙醇、异丙醇、正丙醇和乙二醇中的一种或其中几种的组合物。

6.根据权利要求1或2所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的前驱体溶液中的溶剂为水、醋酸、乙醇、丙醇或乙二醇；其中所述的水为去离子水或蒸馏水。

7.根据权利要求1所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的步骤…一中的前驱体溶液的摩尔浓度为10^-5mol／L~10²mol／L。

8.根据权利要求1、2或7所述的在多孔基底材料上制备高致密度金属氧化物薄膜的方法，其特征在于所述的多孔基底材料的材质为陶瓷或不锈钢。