[发明专利]抛光装置

权利要求书

1.一种抛光装置，包括：

盘状金属本体，绕一轴心旋转，所述盘状金属本体的一个盘状表面为抛光表面；

多个凹槽，间隔地分布于所述盘状金属本体的外圆周上；

加热装置，适于加热所述盘状金属本体的抛光面；以及

喷射装置，向所述盘状金属本体的外圆周喷射抛光颗粒和抛光液，其中所述抛光颗粒和所述抛光液在接触到所述盘状金属本体的外圆周之前形成抛光浆液。

2.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述多个凹槽以相同的间隔分布于所述盘状金属本体的圆周上。

3.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述加热装置与所述盘状金属本体的抛光面导热连接。

4.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述加热装置为一辐射加热装置，且所述辐射加热装置的辐射方向对准所述盘状金属本体的抛光面。

5.如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述喷射装置进一步包括：

喷嘴，呈管状，所述喷嘴的内壁上设置有多个凸起，且所述喷嘴在工作时沿其轴向旋转；

抛光颗粒腔体，连通至所述喷嘴；以及

抛光液腔体，连通至所述喷嘴，

其中，来自所述抛光颗粒腔体的颗粒和来自所述抛光液腔体的抛光液在所述喷嘴内在所述多个凸起的搅拌作用下形成抛光浆液。