[发明专利]太阳能电池的制造装置、太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造装置，其特征在于，具备：

基板保持架，以使具有第1主面和所述第1主面的相反侧的第2主面的基板的所述第1主面以及所述第2主面这两者露出的方式，平面地保持多个所述基板；

前成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时，以使所述基板保持架接触到所述阳极电极上、并使所述第2主面从应发生的放电中隔离且使所述第1主面曝露于所述应发生的放电的方式，载置所述基板保持架，对阴极电极以及所述阳极电极之间施加高频功率而使第1气体放电，从而在所述基板的所述第1主面形成第1膜；

后成膜室，在所述基板保持架被搬入到阳极电极侧时，以使所述基板保持架接触到所述阳极电极上、并使所述第1主面从应发生的放电中隔离且使所述第2主面曝露于所述放电的方式，载置所述基板保持架，对阴极电极以及所述阳极电极之间施加高频功率而使第2气体放电，从而在所述基板的所述第2主面形成第2膜；以及

搬运机构，从所述前成膜室向所述后成膜室在不开放大气的状态下在搬运路径的大部分中在沿着所述第1主面的方向上搬运所述基板保持架。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造装置，其特征在于，

所述前成膜室中的所述阴极电极以及所述阳极电极的位置关系与所述后成膜室中的所述阴极电极以及所述阳极电极的位置关系相反。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制造装置，其特征在于，

所述搬运机构沿着所述基板的所述第1主面从所述前成膜室向连接所述前成膜室以及所述后成膜室的移动室在沿着所述第1主面的方向上搬运所述基板保持架，在所述移动室内从与所述前成膜室的所述阳极电极对应的位置到与所述后成膜室的所述阳极电极对应的位置为止使所述基板保持架在与所述第1主面交叉的方向上移动，沿着所述基板的所述第1主面从所述移动室向所述后成膜室在沿着所述第1主面的方向上搬运所述基板保持架。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池的制造装置，其特征在于，

所述移动室在沿着所述基板的所述第1主面的方向上连接所述前成膜室和所述后成膜室。

5.根据权利要求3所述的太阳能电池的制造装置，其特征在于，

所述移动室在与所述基板的所述第1主面交叉的方向上连接所述前成膜室和所述后成膜室。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池的制造装置，其特征在于，还具备：

第2基板保持架，以使具有第1主面和所述第1主面的相反侧的第2主面的第2基板的所述第1主面以及所述第2主面这两者露出的方式，保持所述第2基板；

第2前成膜室，在所述第2基板保持架被搬入到阳极电极侧时，以使所述基板保持架接触到所述阳极电极上、并使所述第2主面从应发生的放电中隔离且使所述第1主面曝露于所述应发生的放电的方式，载置所述基板保持架，对阴极电极以及所述阳极电极之间施加高频功率而使所述第1气体放电，从而在所述第2基板的所述第1主面形成第1膜；

第2后成膜室，在所述第2基板保持架被搬入到阳极电极侧时，以使所述基板保持架接触到所述阳极电极上、并使所述第1主面从应发生的放电中隔离且使所述第2主面曝露于所述放电的方式，载置所述基板保持架，对阴极电极以及所述阳极电极之间施加高频功率而使所述第2气体放电，从而在所述第2基板的所述第2主面形成第2膜；以及

第2搬运机构，从所述第2前成膜室向所述第2后成膜室在不开放大气的状态下在搬运路径的大部分中在沿着所述第1主面的方向上搬运所述第2基板保持架，其中，

所述第2前成膜室中的所述阴极电极以及所述阳极电极的位置关系与所述第2后成膜室中的所述阴极电极以及所述阳极电极的位置关系相反，

所述移动室在与所述基板的所述第1主面交叉的方向上连接所述前成膜室和所述后成膜室，并且在与所述基板的和所述第1主面相反的一侧交叉的方向上连接所述第2前成膜室和所述第2后成膜室。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池的制造装置，其特征在于，

所述第2搬运机构沿着所述基板的所述第1主面从所述第2前成膜室向所述移动室在沿着所述第1主面的方向上搬运所述第2基板保持架，在所述移动室内从与所述第2前成膜室的所述阳极电极对应的位置到与所述第2后成膜室的所述阳极电极对应的位置为止使所述第2基板保持架在与所述第1主面交叉的方向上移动，沿着所述基板的所述第1主面从所述移动室向所述第2后成膜室在沿着所述第1主面的方向上搬运所述第2基板保持架。