[发明专利]一种聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂，其特征在于，其形态为胶囊，所述的胶囊包括囊芯和包衣，所述囊芯的组分包括单氟磷酸钠、微晶纤维素和吐温80，所述包衣的组分包括聚苯乙烯树脂、滑石粉和羟丙基甲基纤维素。

2.根据权利要求1所述的聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂，其特征在于，所述的囊芯按重量份由以下配比组成：

单氟磷酸钠                  100；

微晶纤维素                 80-140;

吐温80                     6-14。

3.根据权利要求1所述的聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂，其特征在于，所述的包衣按重量份由以下配比组成：

聚苯乙烯树脂              100；

滑石粉                    40-60;

羟丙基甲基纤维素          8.2-9.8。

4.根据权利要求1所述的聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂，其特征在于，构成胶囊的囊芯和包衣的重量比是1：0.25至1：4。

5.根据权利要求1所述的聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂，其特征在于，囊芯的直径为0.3毫米至0.5毫米，胶囊的直径为0. 5毫米至1.1毫米。

6.一种权利要求1所述聚苯乙烯类单氟磷酸钠缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

601）包衣液配制：按以下重量份称取包衣液原料：

将聚苯乙烯树脂溶于三氯甲烷中，搅拌均匀，加入滑石粉与羟丙基甲基纤维素，搅拌均匀；

602）喷雾包衣：将囊芯放入喷雾包衣设备的滚筒中，在包衣模式下，用泵将包衣液通过设备的喷雾嘴喷到滚动的囊芯上，囊芯与包衣液中干物质的重量比为1：0.25至1：4；

603）干燥：在温度30-40°C，强制通风的条件下，在：在干燥设备的滚筒中干燥10-20分钟，然后自然降温、晾干。

7.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，包括囊芯制备步骤：

701）囊芯配制：按以下重量份称取囊芯原料：

先将单氟磷酸钠与微晶纤维素二者充分混合，然后加入吐温80，搅拌均匀后加入水，使水在混合物中均匀存在；

702）挤出抽细：将所述的混合物在挤出设备的加料口投入，挤出米线条状的囊芯材料；

703）出料滚圆：将所述的米线条状囊芯材料，倒入滚圆设备中的滚筒，滚出囊芯微粒；

704）干燥：将囊芯滚出微粒干燥设备的滚筒中，干燥温度30-40°C强制通风的条件下，进行干燥处理。

8.根据权利要求6或7所述的制备方法，其特征在于，所述的喷雾包衣设备、挤出设备、滚圆设备和干燥设备是都挤出滚圆机，所述的挤出滚圆机包括喷雾包衣模式、挤出模式、滚圆模式和干燥模式。