[发明专利]基板处理系统、基板搬送方法、程序和计算机存储介质

权利要求书

1.一种基板处理系统，包括：处理站，其在上下方向上多层地设置有处理基板的多个处理单元；盒式部件载置部，其载置收容多个基板的盒式部件；和配置在所述处理站与所述盒式部件载置部之间的基板搬送机构，该基板处理系统的特征在于：

在所述处理站和所述基板搬送机构之间，多层地设置有多个交接单元，该多个交接单元暂时收容在所述盒式部件载置部与所述处理站之间被搬送的基板以及在所述处理单元的各层之间被搬送的基板，

所述基板搬送机构包括：

在所述盒式部件载置部与各所述交接单元之间搬送基板的第一搬送臂；和

在各所述交接单元的各层之间搬送基板的第二搬送臂。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于：

所述基板搬送机构在俯视时在水平方向上并列地设置有多个。

3.如权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于：

所述基板搬送机构在上下方向上并列地设置有多个。

4.如权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于：

所述多个处理单元以使得利用该处理单元处理的基板的搬送路径成为最短的方式、在上下方向上按基板的处理顺序并列配置，

在所述处理站，按所述处理顺序配置的处理单元组在上下方向上至少设置有2层。

5.如权利要求2～4中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

在所述交接单元的各层之间搬送基板的基板搬送装置，配置在所述处理单元和所述盒式部件载置部之间并且配置在多个所述基板搬送机构之间。

6.如权利要求2～4中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

包括控制所述基板搬送机构的动作的控制装置，

所述控制装置进行一种控制，该控制是在利用所述第一搬送臂进行的基板搬送的时间与利用所述第二搬送臂进行的基板搬送的时间重叠的情况下，以使得基板为待机状态的时间成为最小限度的方式，利用任一个搬送臂优先搬送基板的控制。

7.如权利要求2～4中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

包括控制所述基板搬送机构的动作的控制装置，

所述控制装置进行一种控制，该控制是在利用所述第一搬送臂进行的基板搬送的时间与利用所述第二搬送臂进行的基板搬送的时间重叠的情况下，使利用所述第一搬送臂进行的所述盒式部件载置部和各所述交接单元之间的基板搬送优先，并利用没在搬送基板的其它基板搬送机构在各所述交接单元的各层之间进行搬送的控制。

8.如权利要求1～4中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

所述交接单元具有多个载置基板的板，各所述板是对基板进行冷却的冷却板或进行基板的温度调整的温度调整板。

9.如权利要求1～4中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

所述基板搬送机构具有使所述第一搬送臂和所述第二搬送臂在水平方向和上下方向上移动的臂驱动部。

10.一种基板处理系统的基板搬送方法，其中，该基板处理系统包括：处理站，其在上下方向上多层地设置有处理基板的多个处理单元；盒式部件载置部，其载置收容多个基板的盒式部件；和配置在所述处理站和所述盒式部件载置部之间的基板搬送机构，该基板搬送方法的特征在于：

在所述处理站和所述基板搬送机构之间，多层地设置有多个交接单元，该多个交接单元暂时收容在所述盒式部件载置部和所述处理站之间被搬送的基板以及在所述处理单元的各层之间被搬送的基板，

所述盒式部件载置部和各所述交接单元之间的基板搬送通过所述基板搬送机构的第一搬送臂进行，在各所述交接单元的各层之间的基板搬送通过所述基板搬送机构的第二搬送臂进行。

11.如权利要求10所述的基板搬送方法，其特征在于：

在利用所述第一搬送臂进行的基板搬送的时间与利用所述第二搬送臂进行的基板搬送的时间重叠的情况下，以使得基板为待机状态的时间成为最小限度的方式，利用任一个搬送臂优先搬送基板。

12.如权利要求11所述的基板搬送方法，其特征在于：

所述基板搬送机构在俯视时在水平方向上并列地设置有多个。

13.如权利要求12所述的基板处理系统，其特征在于：

所述基板搬送机构在上下方向上并列地设置有多个。