[发明专利]基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统

权利要求书

1.基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统，其特征在于：包括二氧化钒纳米线悬臂梁（12）、激光热源机构（2）、光学显微镜机构（3）和真空压力腔机构（1）；激光热源机构（2）和光学显微镜机构（3）位于真空压力腔机构（1）外部；所述真空压力腔机构（1）包括真空压力腔体，真空压力腔体侧面设有真空压力腔进出口（14），真空压力腔体顶部设有玻璃窗口（15）；所述真空压力腔体内设有矩形承物台（10），矩形承物台上设有硅片基底（11）；所述二氧化钒纳米线悬臂梁（12）的一端通过铂金薄膜（13）固定连接着硅片基底（11），二氧化钒纳米线悬臂梁（12）的另一端为悬臂端，二氧化钒纳米线悬臂梁（12）与真空压力腔体顶部的玻璃窗口（15）对应；所述光学显微镜机构（3）位于所述玻璃窗口（15）外部的上方；光学显微镜机构（3）由CCD图像传感器（30）、上凸透镜（31）和下凸透镜（32）组成，其中CCD图像传感器（30）位于上凸透镜（31）的上方，下凸透镜（32）与所述玻璃窗口对应；所述激光热源机构（2）由依次排列的激光发生器（20）、半波偏振片（21）、偏振分束器（22）、透射式位相光栅（23）、滤光片（24）和折射镜（25）组成，所述折射镜（25）位于上凸透镜（31）和下凸透镜（32）之间，且与下凸透镜（32）之间呈45度角；

      进行测量时，待测纳米线悬臂梁（4）的一端通过铂金薄膜（13）固定连接着硅片基底（11）；待测纳米线悬臂梁（4）的另一端为悬臂梁，且通过铂金薄膜（13）固定连接着二氧化钒纳米线悬臂梁（12）的悬臂端。

2.根据权利要求1所述的基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统，其特征在于：所述二氧化钒纳米线悬臂梁（12）的长度为50-100μm，其矩形截面的宽度为0.5-1μm，高度为0.2-0.5μm，其在无应力状态下被加热至68℃时会发生半导体相至金属相的相变。

3.根据权利要求1所述的基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统，其特征在于：所述待测纳米线悬臂梁（4）的直径为1-1000nm，长度为50-200μm。

4.根据权利要求1所述的基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统，其特征在于：所述硅片基底（11）上，二氧化钒纳米线悬臂梁（12）和待测纳米线悬臂梁（4）之间距离为10-20μm。