[发明专利]电阻抗测量装置

权利要求书

1.一种电阻抗测量装置，其通过由第一导电路至第三导电路电连接的第一电阻抗元件至第三电阻抗元件构成三角形电路，将电连接上述第一电阻抗元件与上述第二电阻抗元件的上述第一导电路的电位以及电连接上述第二电阻抗元件与上述第三电阻抗元件的上述第二导电路的电位感应成基准电位，并测量上述第一电阻抗元件的电阻抗，该电阻抗测量装置的特征在于，包括：

第一运算放大器，其具有与上述第二导电路电连接的输出端子和反相输入端子、以及与规定的基准电位电连接的同相输入端子；

电源部，其与上述第三导电路电连接并对上述第三导电路赋予用于测量电阻抗的电力，上述第三导电路将上述第一电阻抗元件与上述第三电阻抗元件电连接；以及

电特性检测部，其在通过上述电源部对上述第三导电路赋予上述电力时，检测用于测量上述第一电阻抗元件的电阻抗的上述第一电阻抗元件的电特性。

2.根据权利要求1所述的电阻抗测量装置，其特征在于，进一步包括：

第二运算放大器，其具有与上述第一导电路电连接的输出端子和反相输入端子、以及与规定的接地线电连接的同相输入端子。

3.根据权利要求1所述的电阻抗测量装置，其特征在于，

在被检査基板上设置多组上述第一电阻抗元件至第三电阻抗元件以及上述第一导电路至第三导电路，

上述电阻抗测量装置进一步包括：

多销夹具，其具有分别同时与上述多组的上述第一导电路至第三导电路接触的多个接触销；以及

连接切换部，其具有多个开关元件，并切换上述多销夹具的上述各接触销与上述第一运算放大器的上述输出端子、上述反相输入端子、上述同相输入端子以及上述电源部之间的电连接关系。