[发明专利]一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置

权利要求书

1.一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，包括偏心轮驱动系统，柔性铰链执行系统，传感器反馈系统和外壳，所述可调狭缝装置由步进电机（1）连接谐波减速器（5）通过膜片联轴器（7）驱动偏心轮轴（26），所述偏心轮轴（26）安装在偏心轮支座（23）上，所述偏心轮轴（26）中间安装有一个驱动轴承（25），所述驱动轴承（25）的内圈由锁紧螺母（24）锁定，所述偏心轮轴（26）与垂直驱动轴（31）连接，所述垂直驱动轴（31）通过垫片（34）上放置的钢球（16）间接接触柔性铰链（35），所述柔性铰链（35）安装在底座上面，所述柔性铰链（35）上安装有刀口组件即左刀口架（37）、右刀口架（38）、刀片（39）及LVDT位移传感器（42）。

2.根据权利要求1所述的具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，其特征在于：所述步进电机（1）与谐波减速器（5）之间通过电机连接板（2）连接，所述谐波减速器（5）的输出轴（6）与所述偏心轮轴（26）之间通过所述膜片联轴器（7）连接，所述偏心轮轴（26）两端安装有支撑轴承，并用第一轴承端盖（8）和第二轴承端盖（11）压住。

3.根据权利要求1所述的具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，其特征在于：所述偏心轮支撑座（23）通过四个螺钉（12）固定在安装架（36）上，所述偏心轮支撑座（23）与所述安装架（36）的中间孔里面安装有导向铜套（32），所述导向铜套（32）内安装有垂直驱动轴（31），并用弹簧（14）支撑，所述垂直驱动轴（31）的上端与所述驱动轴承（25）的外缘接触，所述垂直驱动轴（31）的下端安装连接套筒（33），并用螺母（15）锁紧，所述连接套筒（33）下端是钢球（16）。

4.根据权利要求1、3所述的具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，其特征在于：所述柔性铰链执行机构通过所述钢球（16）与所述偏心轮驱动组件连接，所述钢球通过垫片（34）安装在所述柔性铰链（35）的上端，所述柔性铰链（35）通过均布螺栓（22）安装在安装架（36）上，并且用把所述柔性铰链的下端外圆面作为定位面，所述柔性铰链用压盖（18）固定在所述安装架（36）上所述压盖（18），安装架（36）和柔性铰链（35）中间都设置有一定宽度的缝。

5.根据权利要求1所述的具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置，其特征在于：所述刀口组件固定在所述柔性铰链（35）的中部，所述两个刀片（39）通过螺钉（19）固定在所述左刀口架（37）和右刀口架（38）上，所述左刀口架（37）和右刀口架（38）交错布置在所述柔性铰链（35）上，所述LVDT位移传感器通过左夹具（41）和右夹具（43）与所述刀片（39）并行安装在所述柔性铰链（35）上。