[发明专利]光学元件、使用该光学元件的光学系统及光学装置

权利要求书

1.一种光学元件，具有在基板上形成的防反射膜，

其中，所述防反射膜包括：

第一层，其被形成在所述基板上；

第二层，其被形成在所述第一层上并由与所述第一层不同的材料构成；以及

第三层，其被形成在所述第二层上并由凹凸结构构成，

其中，所述第三层具有三个区域，通过连续改变所述凹凸结构的空间填充系数，所述三个区域的针对各自厚度的折射率以恒定比率改变。

2.根据权利要求1的光学元件，其中，所述第一层、所述第二层、以及所述第三层是通过湿法形成的。

3.根据权利要求1的光学元件，其中，当限定折射率的波长为550nm时，所述基板具有在从1.65到2.20的范围中的折射率，所述第一层具有在从30到70nm的范围中的厚度和在从1.52到1.82的范围中的折射率，所述第二层具有在从10到50nm的范围中的厚度和在从1.40到1.58的范围中的折射率，以及所述第三层具有在从200到300nm的范围中的厚度并且所述第三层的折射率从在1.40到1.58的范围中的值向1.0改变，以及

其中，所述三个区域从所述第二层起依次包括：

第一区域，其具有在从15至45nm的范围中的厚度和以在从4.4×10^-3nm^-1至12×10^-3nm^-1的范围中的比率改变的折射率；

第二区域，其具有在从25至75nm的范围中的厚度和以在从1.9×10^-3nm^-1至4.3×10^-3nm^-1的范围中的比率改变的折射率；以及

第三区域，其具有在从120至200nm的范围中的厚度和以在从0.9×10^-3nm^-1至1.8×10^-3nm^-1的范围中的比率改变的折射率。

4.根据权利要求3的光学元件，其中，所述第一层、所述第二层、以及所述第三层是通过湿法形成的。

5.根据权利要求1的光学元件，其中，所述第一层是有机树脂层。

6.根据权利要求1的光学元件，其中，所述第二层是主要成分为氧化铝的多孔层。

7.根据权利要求1的光学元件，其中，所述第三层由主要成分为氧化铝的板状晶体形成。

8.一种光学系统，具有至少两个或更多个光学元件，

其中，所述光学元件中的至少一个是根据权利要求1的光学元件。

9.一种具有光学系统的光学装置，

其中，所述光学系统是根据权利要求8的光学系统。