[发明专利]用于键合引线拉力测试的装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，特别涉及一种用于键合引线拉力测试的装置。

背景技术

引线键合是集成电路封装、微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical Systems)封装和功率半导体器件封装中实现芯片之间、芯片和散热基板以及芯片和外部电气互连的主要技术。由于键合工艺质量(引线键合拉力)直接关系到产品的可靠性和寿命，因此对于键合工艺参数的检测就显得尤为重要。引线键合拉力是衡量/评价键合工艺质量的重要参数之一，因此需要引线键合拉力测试仪对完成键合工艺后的试件/样品进行拉力测试，通过评估引线键合拉力值来确定键合工艺是否满足产品可靠性要求。所以引线键合拉力测试装置非常重要。

目前，现有的技术中存在用于对引线键合力拉力测试的测试仪，该引线键合力拉力测试仪(以下简称拉力测试仪)的壳体内部包括：上位机、拉伸机、力传感器、位移传感器等部件，其测试方式是，将测试样品固定在测试台上；带有挂钩的力传感器钩住待测引线并为其施加拉力；力传感器将力信号传递到控制、显示单元，经过信号处理之后将拉力值在终端显示。并且，现有拉力测试仪中拉伸机的电机采用的是步进电机。

首先，受传感器本身量程范围的限制，现有的拉力测试仪只能测量某个固定范围内的拉力，测量范围窄。

此外，现有的拉力测试的拉伸速度每秒只可工作在每秒毫米量级，无法实现对拉力要求较为特殊的材料拉伸高精度测试。

发明内容

本发明实施例在于提供一种用于键合引线拉力测试的装置，可以拓宽拉力测量范围，扩大应用范围。

本发明实施例提供了一种用于键合引线拉力测试的装置，包括：待测件固定板10，拉伸机20，至少两个待测件固定块30、拉钩40、筒状导轨50、滑轮固定块60、第一滑轮71、第二滑轮72、第三滑轮73、顶盖80、支撑柱90以及拉力测试线100，其中，

所述待测件固定板10上设置有由四个独立的一字孔组成的十字孔11；

所述待测件固定块30通过所述十字孔将待测件固定在所述待测件固定板10上：

所述拉伸机20固定在所述待测件固定板10上远离所述十字孔11的一侧；且所述拉伸机20的力传感器21固定在拉伸机20的第一滑块25上，且所述力传感器21暴露在外无遮挡；

所述支撑柱90的一端固定在所述待测件固定板10上，所述支撑柱90的另一端固定在顶盖80上；

所述筒状导轨50的一端固定在所述顶盖上，所述筒状导轨50的另一端连接拉钩40；

所述第一滑轮71和所述第二滑轮72固定在所述顶盖80上，

所述第三滑轮73固定在滑轮固定块60上；

所述滑轮固定块60固定在所述待测件固定板10上；

所述拉力测试线100的一端固定在所述筒状导轨50内的滑块上，所述拉力测试线100的另一端通过所述第一滑轮71、第二滑轮72、第三滑轮73固定在所述拉伸机20的力传感器21上。

其中，所述支撑柱90高度小于所述筒状导轨50的长度、所述拉钩40长度和待测件厚度之和。

其中，所述支撑柱90为3个、4个或5个。

其中，所述待测件固定块30包括压块31和螺柱32，当有待测件放置在所述待测件固定板10上时，所述压块31压住所述待测件，所述螺柱穿过所述十字孔11，通过螺母固定。

其中，所述待测件固定块30为3个。

其中，所述拉钩40包括钩体42和拉钩固定块41，所述钩体42的顶端具有螺纹结构；所述拉钩固定块41的中心孔为螺纹孔，所述钩体42通过所述螺纹结构固定在所述述拉钩固定块41的中心孔上。

其中，所述拉钩固定块41通过螺钉或焊接的方式固定在所述筒状导轨50内的滑块上。

其中，所述拉伸机20通过螺钉或焊接的方式固定在所述待测件固定板10上。

其中，所述滑轮固定块60位于远离所述拉伸机20，且靠近所述十字孔11的位置。

其中，拉伸机20中的电机采用伺服电机。

应用本发明提供的用于键合引线拉力测试的装置由于拉伸机20的力传感器21等部件都暴露在外，因而，可根据不同的量程随时更换不同的力传感器21以适应不同的测量需求。可见，应用本申请既可以测量细引线的键合力，也可以测量粗引线的键合力，拓宽了拉力测量范围，扩大应用范围，降低了成本，提高了效率。