[发明专利]一种制作多层石墨烯TEM样品的方法有效
| 申请号: | 201210229786.5 | 申请日: | 2012-07-02 |
| 公开(公告)号: | CN102759467A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
| 发明(设计)人: | 董策舟;王宏涛;李倩倩;聂安民;周武;竺鑫桥 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 杜军 |
| 地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 制作 多层 石墨 tem 样品 方法 | ||
1. 一种制作多层石墨烯TEM样品的方法,其特征在于该方法包括以下步骤:
步骤1:利用CVD装置在铜箔两侧上生长出单层石墨烯薄膜,将转移介质均匀旋涂在铜箔一侧的石墨烯薄膜表层;
步骤2:利用腐蚀溶液将铜箔完全腐蚀干净,得到附有单层石墨烯的转移介质;
步骤3:将步骤2得到的单层石墨烯通过转移介质转移至支撑网的碳膜表面,保证转移介质与碳膜完全贴合;
步骤4:将支撑网、碳膜、石墨烯和转移介质组成的结合体放置并且漂浮在有机溶剂表面,保证转移介质与有机溶剂紧密接触;
步骤5:当转移介质被有机溶剂完全腐蚀后,将支撑网、碳膜和石墨烯组成的结合体静置一段时间直至完全干燥,得到石墨烯薄膜;
步骤6:将步骤2得到的单层石墨烯通过转移介质转移至石墨烯薄膜表面,并且使两层石墨烯完全贴合,形成结合体;
步骤7:将步骤6中得到结合体再次小心地放置并漂浮在有机溶剂表面,保证转移介质与有机溶剂紧密接触;
步骤8:当转移介质被有机溶剂完全腐蚀后,将支撑网、碳膜和石墨烯组成的结合体静置一段时间直至完全干燥,可以得到两层石墨烯TEM样品;
步骤9:重复步骤6至步骤8操作过程,可以得到多层石墨烯TEM样品。
2.根据权利要求1所述的制作多层石墨烯TEM样品的方法,其特征在于:步骤1所述的转移介质可以为PMMA或PDMS有机介质。
3.根据权利要求1所述的制作多层石墨烯TEM样品的方法,其特征在于:步骤2所述的腐蚀溶液可以为FeCl3或Fe(NO3)3溶液。
4.根据权利要求1所述的制作多层石墨烯TEM样品的方法,其特征在于:步骤3所述的支撑网可以为金质支撑网或铜质支撑网。
5.根据权利要求1所述的制作多层石墨烯TEM样品的方法,其特征在于:步骤4和步骤7所述的有机溶剂可以同时为甲苯、四氢呋喃、氯仿或丙酮。
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