[发明专利]一种高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达

权利要求书

1.一种同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达，其特征在于，是在压电陶瓷驱动器的振动和摩擦下利用惯性原理实现线性移动，从而将超声波振动能量变换成物体的平动动能。

2.根据权利要求1所述的同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达，其特征在于，所提出的双模超声波线性马达的是将高速率和高精度这两个传统上不能兼容的指标利用外部驱动电路的时序模式变换在同一设备上实现。

3.根据权利要求2所述的同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达，不仅能以mm/s的高速率模式运行，还能以分辨率为纳米量级的高精度模式运行。

4.根据权利要求2所述的同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达，通过改变脉冲电压的大小和频率可实现速率的调控，通过改变脉冲电压的极性可实现移动方向的改变。

5.根据权利要求2所述的同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达，能工作在极低温、超高真空、强磁场等极端条件下，具有行程大，负载高的优点。