[发明专利]圆形靶材的取样方法和检测方法

权利要求书

1.一种圆形靶材的取样方法，其特征在于，包括：

提供圆形靶材；

在所述靶材的径向按靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中心区域与靶材边缘区域之间的中间区域取样，在所述靶材的厚度方向分层取样；其中，所述中间区域为所述圆形靶材消耗最快的区域。

2.根据权利要求1所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，所述圆形靶材消耗最快的区域为所述圆形靶材报废时靶材厚度消耗厚度大于原厚度一半的区域。

3.根据权利要求1所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，靶材中间区域为环形，所述环形的内径与所述圆形靶材的半径比值大于20%，所述环形的外径与所述圆形靶材的半径比值小于55%。

4.根据权利要求3所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，所述靶材的半径为140毫米-145毫米，所述中间区域取样的范围为：距离靶材中心的50毫米-70毫米，所述边缘区域取样的范围为：距离靶材中心的110毫米-130毫米。

5.根据权利要求3所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，所述靶材的半径为160毫米-175毫米，所述中间区域取样的范围为：距离靶材中心的60毫米-80毫米，所述边缘区域取样的范围为：距离靶材中心的140毫米-160毫米。

6.根据权利要求3所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，所述靶材的半径为220毫米-225毫米，所述中间区域取样的范围为：距离靶材中心的80毫米-100毫米，所述边缘区域取样的范围为：距离靶材中心的180毫米-200毫米。

7.根据权利要求1所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分层取样包括在所述靶材的厚度方向分上中下三层取样。

8.根据权利要求1所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分层取样包括在所述靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中间区域的厚度方向分上中下三层取样。

9.根据权利要求1所述的圆形靶材的取样方法，其特征在于，在所述靶材的径向按靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中间区域取样包括沿所述靶材直径取10毫米-15毫米宽的长条。

10.一种圆形靶材的检测方法，其特征在于，包括：

提供圆形靶材；

在所述靶材的径向按靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中心区域与靶材边缘区域之间的中间区域取样，在所述靶材的厚度方向分层取样；其中，所述中间区域为所述圆形靶材消耗最快的区域；

对各样本进行金相观察。

11.根据权利要求10所述的圆形靶材的检测方法，其特征在于，所述圆形靶材消耗最快的区域为所述圆形靶材报废时靶材厚度消耗厚度大于原厚度一半的区域。

12.根据权利要求10所述的圆形靶材的检测方法，其特征在于，所述靶材中间区域为环形，所述环形的内径与所述圆形靶材的半径比值大于20%，所述环形的外径与所述圆形靶材的半径比值小于55%。

13.根据权利要求10所述的圆形靶材的检测方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分层取样包括在所述靶材的厚度方向分上中下三层取样。

14.根据权利要求10所述的圆形靶材的检测方法，其特征在于，在所述靶材的厚度方向分层取样包括在所述靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中间区域的厚度方向分上中下三层取样。

15.根据权利要求10所述的圆形靶材的检测方法，其特征在于，在所述靶材的径向按靶材中心区域、靶材边缘区域、靶材中间区域取样包括沿所述靶材直径取10毫米-15毫米宽的长条。

16.根据权利要求10所述的圆形靶材的检测方法，其特征在于，所述对各样本进行金相观察包括：对所述样本进行研磨、抛光和化学腐蚀处理；用金相显微镜观察所述处理后的样本的组织结构。