[发明专利]一种采用接近开关的平台调节器

说明书

技术领域

本发明涉及一种化学机械研磨工具的平台调节器，特别涉及一种采用接近开关的平台调节器。

背景技术

在现有技术中，平台调节器通常用于磨粗糙或者清洁化学机械研磨工具的平台，但是会多次出现平台调节器的通过四个螺栓柔性装配的研磨头损坏并且下降到随机的区域，因此，可能导致一些诸如在工作进程中撞碎研磨头的严重的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种采用接近开关的平台调节器，能够有效保护研磨头，增加了研磨头的寿命，并有效保护了研磨头所研磨的晶片以及其他部件。

为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：

一种采用接近开关的平台调节器，包含：研磨头，带动研磨头上下动作的调节手臂，以及控制调节手臂开关的电磁阀，还包含：

传感装置，所述的传感装置设置在研磨头与调节手臂之间，所述的传感装置的一端通过电缆与外部的主控制器相连，另一端接地；当外部的主控制装置通过电磁阀控制研磨头向上运动时，传感装置检测研磨头是否与调节手臂相对靠近，若研磨头与调节手臂并未相对靠近，则传感装置断开；

继电保护装置，所述的继电保护装置的输入端与外部的主控制器相连，其输出端与电磁阀的输入端相连。

所述的传感装置为接近开关。

所述的继电保护装置为电磁继电器。

本发明与现有技术相比，具有以下优点：

1、能够有效保护研磨头，增加了研磨头的寿命；

2、有效保护了研磨头所研磨的晶片以及其他部件。

附图说明

图1为本发明一种采用接近开关的平台调节器的结构示意图；

图2为本发明一种采用接近开关的平台调节器的控制电路原理图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。

如图1、图2所示，一种采用接近开关的平台调节器，包含：研磨头1，带动研磨头1上下动作的调节手臂2，以及控制调节手臂2开关的电磁阀4，在本实施例中，电磁阀4采用DC 24V供电，还包含：传感装置3、继电保护装置5。

其中，如图2所示，传感装置3设置在研磨头1与调节手臂2之间，该传感装置3的一端通过电缆与外部的主控制器相连，另一端接地，在本实施例中，传感装置3为接近开关，当外部的主控制装置通过电磁阀4控制研磨头1向上运动时，传感装置3检测研磨头1是否与调节手臂2相对靠近，若研磨头1与调节手臂2并未相对靠近，则传感装置3断开。继电保护装置5的输入端与外部的主控制器相连，其输出端与电磁阀4的输入端相连，在本实施例中，继电保护装置5为电磁继电器。

如图1、图2所示，当工作时，调节手臂2控制研磨头1有规律的上下动作，从而控制研磨头1的研磨工作，此时，当研磨头1向下运动时，继电保护装置5闭合，电磁阀4继续工作，带动研磨头1向上运动，传感装置3开始检测是否有金属向其靠近，如果有，研磨头1继续在电磁阀4的带动下继续向下运动，如果没有，则说明研磨头1掉落，从而传感装置3断开，同时，该断开信号被传至主控制器，主控制器再控制继电保护装置5断开，同时，平台调节器立即发出警报，电磁阀4停止工作，从而平台调节器停止运行，研磨头1停止研磨，有效保护了研磨头1，从而大大增加了研磨头1的寿命，并有效保护了研磨头1所研磨的晶片以及其他部件。

综上所述，本发明一种采用接近开关的平台调节器，能够有效保护研磨头1，增加了研磨头1的寿命，并有效保护了研磨头1所研磨的晶片以及其他部件。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。