[发明专利]压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置

权利要求书

1.压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，该装置包括样品杆杆身和样品载台，样品杆杆身的前端固定设置有左右两根压电陶瓷，两根压电陶瓷的前端均设置有导电光滑硬质体，样品载台上安装部位的左右两侧分别设置有弹性金属丝，样品载台通过弹性金属丝环抱夹紧安装在导电光滑硬质体上；通过在压电陶瓷上加载锯齿波电压使压电陶瓷发生时间不对称的上下振动，使样品载台发生以两个导电光滑硬质体的中心连线为转轴的旋转。

2.  如权利要求1所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述压电陶瓷为压电陶瓷管或者剪切形变压电陶瓷块，所述导电光滑硬质体为导电光滑硬质小球或导电光滑硬质圆柱体。

3.  如权利要求2所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述压电陶瓷管内壁、外壁均镀有金属层作为电极，其中外壁电极沿轴向被等分为2份、4份或6份，相对的两个电极上分别加上极性相反的电压时，压电陶瓷管会向一侧发生弯曲。

4.  如权利要求1所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述样品载台的安装部位上设置有细孔，弹性金属丝的一端插入细孔内，另一端弯成半圆环状夹紧在导电光滑硬质体上。

5.  如权利要求4所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述弹性金属丝采用铍铜丝、无磁弹簧钢丝、无磁弹簧钢片、铍铜片或无磁弹簧钢片制成。

6.  如权利要求6所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述弹性金属丝夹紧在导电光滑硬质体上来保证所述的样品载台机械安装稳定，同时在加速旋转时所述弹性金属丝相对导电光滑硬质体的表面滑动。

7.  如权利要求3所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述锯齿波电压的电压上升与下降的时间不对等，所述压电陶瓷管在所述锯齿波电压作用下，发生形变和恢复形变的时间不对等，形变过程中，夹持于所述导电光滑硬质小球上的所述样品载台在惯性作用下发生转动。

8.  如权利要求1所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述样品杆杆身的中心设置有用于电学线缆布线的通孔，所述样品杆杆身的尾端设置有用于穿设电学电缆的线缆真空穿通。

9.如权利要求3所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述样品杆杆身与压电陶瓷管之间设置有金属座，所述样品杆杆身的前端左右两侧分别通过螺丝固定设置有金属座，每一个金属座上均粘接有所述压电陶瓷管；粘接时，压电陶瓷管一对相对的电极上下对称放置用于施加驱动电压信号；所述压电陶瓷管的前端通过导电粘接金属柱，金属柱上采用导电胶粘接所述导电光滑硬质小球；金属柱、金属座与压电陶瓷管外壁电极电学绝缘。

10.如权利要求3所述的压电陶瓷驱动的透射电子显微镜用样品载台Y轴倾转装置，其特征在于，所述金属样品载台、弹性金属丝、导电光滑小球、金属柱、陶瓷管内壁、金属座、样品杆杆身均实现电学连接，样品载台与样品杆杆身等电位。