[发明专利]密封传动装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种密封传动装置，尤其涉及一种将旋转运动密封地传递至液态环境的传动装置。

背景技术

随着科学技术的迅猛发展，对工业工艺要求日益增高，真空技术在高科技产业化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求极高的数码显示面板产业中。例如，薄膜晶体管显示屏（LCD-TFT，Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor)、有机发光显示器件（OLED，Organic Light-Emitting Diode）面板、太阳能电池板及其他类似者的制程中，由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行。例如，在LCD-TFT、OLED及太阳能电池板的制程中，光刻是必不可少的步骤，光刻生产的目标是根据设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，一般的光刻工艺要经历玻璃基片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序；其中，蚀刻也称光化学蚀刻（photochemical etching），是指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。因此，蚀刻等步骤都是在带有腐蚀性的液体环境下进行的，而在实现自动化生产的设备中，常需要在液体环境下传输玻璃基片，或进行阀门开启等动作，在这些动作的输入过程中，对设备的密封性也提出更高的要求。

在上述制程中，液态环境下的密封传输凸显了其重要意义，液态环境下的密封传输往往考验着用于整个制程的真空系统的可靠性。现有的用于液态环境下的密封传输设备，在真空腔室内设置大量的滚轮、滚珠顶杆和吸盘，传动机构复杂，为了保证整个传送系统的同步运行，一般采用一个驱动机构带动腔室内部的所有传送滚轮同步转动，利用摩擦力匀速传送玻璃基片等，由于传动机构复杂，在将外部旋转运动传输至密封腔体内的液态环境时，随着传输机构的运行，密封腔体内的液体会慢慢通过传输轴浸出密封腔体外，造成污染，并影响真空环境的密封性。

因此，有必要提供一种高清洁度、高密封性、结构简单、成本低廉的密封传动装置来解决现有技术的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高清洁度、高密封性、结构简单、成本低廉的密封传动装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种密封传动装置，密封地安装于盛有液体的密封腔体上，用于将旋转运动密封地传输至液态环境，所述密封腔体的侧壁上开设有安装孔，所述密封传动装置包括驱动机构、联轴器、传动轴、传动齿轮及密封机构，所述密封机构密封地安装于所述侧壁上的安装孔内，所述密封机构上开设有连通所述密封腔体的连接孔，所述密封机构上还开设有连通所述连接孔的压缩空气入口，所述传动轴密封地穿设于所述连接孔内，且所述传动轴的伸入所述密封腔体内的一端安装有所述传动齿轮，所述传动轴的另一端伸出所述密封机构外并与所述联轴器的一端连接，所述联轴器的另一端与所述驱动机构的输出轴连接，所述驱动机构通过所述联轴器带动所述传动轴转动，所述传动轴带动所述传动齿轮转动从而将所述旋转运动传输至液态环境。

较佳地，所述密封机构包括密封连接件、密封压板、轴承、轴套、第一密封环及第二密封环，所述密封连接件上开设有所述连接孔及所述压缩空气入口，所述密封连接件密封地安装于所述安装孔内并伸入所述密封腔体内，且具有所述压缩空气入口的一端位于所述密封腔体外，所述轴承设置于所述连接孔内，所述密封压板密封地安装于所述密封连接件的位于所述密封腔体外的端部，且所述密封压板上开设有与所述连接孔相对应的通孔，所述轴套、第一密封环及第二密封环均套设于所述传动轴上，且所述轴套位于所述第一密封环与所述第二密封环之间，所述传动轴依次穿过所述通孔及所述连接孔伸入所述密封腔体内，且所述传动轴承载于所述轴承上；通过压缩空气入口进入连接孔的压缩空气，在第一密封环与第二密封环之间形成高压环境，因此，在传输旋转运动的过程中，即使第一密封环、第二密封环有少许的磨损，连接孔内的高压环境也可有效防止液体通过传动轴浸出到外密封腔体之外，形成良好的动密封。

较佳地，所述连接孔贯穿所述密封连接件的前后两端，所述密封连接件的中部向外凸伸出一连接部，所述密封连接件的前端伸入所述密封腔体内，所述连接部与所述密封腔体的侧壁密封地连接，所述密封连接件的后端位于所述密封腔体外，所述压缩空气入口开设于所述密封连接件的后端。