[发明专利]制备高分辨率特征物的方法、组合物和导电特征物有效
| 申请号: | 201210138551.5 | 申请日: | 2012-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN102776507B | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
| 发明(设计)人: | 吴贻良 | 申请(专利权)人: | 施乐公司 |
| 主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00;C23C24/08;H01B5/14;H01B13/00;C09D11/52 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 李丙林,曹桓 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制备 高分辨率 特征 方法 组合 导电 | ||
1.一种在基底上形成高分辨率特征物的方法,该方法包括:
沉积含有一种物质和一种溶剂的液体组合物至基底上以形成平面沉积特征物,
在沉积期间或沉积之后加热平面沉积特征物至加热的温度以形成具有中心区域和边缘区域的平面中间特征物,其中所述液体组合物的溶剂具有比加热温度高100℃或更多的沸点,并且其中所述平面中间特征物在其中心区域包含剩余量的溶剂,
施用胶粘物质至平面中间特征物的中心区域的至少一部分,以及
将所述胶粘物质与平面中间特征物的中心区域一起移除,在基底上剩下平面中间特征物的边缘区域,以在基底上形成高分辨率特征物。
2.权利要求1的方法,其中所述物质为金属纳米颗粒并且选自银、金、铂、钯、铜、钴、锌、铟、锡、铬、镍、银-铜复合物、银-金-铜复合物、银-钯复合物、银-金-钯复合物及其混合物。
3.权利要求2的方法,其中所述金属纳米颗粒还包括具有式X-Y的稳定剂,其中X是烃基,其含有4至24个碳原子,并且其中Y是连接在金属纳米颗粒表面的官能团并且其选自羟基、胺基团、羧酸基团、硫醇基团、黄原酸基团、吡啶基团、吡咯烷酮基团、氨基甲酸基团及其组合。
4.权利要求3的方法,其中所述金属纳米颗粒是银纳米颗粒并且稳定剂是选自以下的有机胺稳定剂:丁胺、戊胺、己胺、庚胺、辛胺、壬胺、癸胺、十六烷基胺、十一烷基胺、十二烷基胺、十三烷基胺、十四烷基胺、二氨基戊烷、二氨基己烷、二氨基庚烷、二氨基辛烷、二氨基壬烷、二氨基癸烷、二丙基胺、二丁基胺、二戊基胺、二己基胺、二庚基胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、甲基丙胺、乙基丙胺、丙基丁胺、乙基丁胺、乙基戊胺、丙基戊胺、丁基戊胺、三丁基胺、三己基胺及其混合物。
5.权利要求1的方法,其中溶剂选自十二烷基苯、十氢化萘、四氢化萘、二环己烷、异链烷烃、环己醇、环萜、环萜品烯、1-苯基-1-环己烯、1-叔丁基-1-环己烯、萜品油烯、γ-萜品烯、α-萜品烯、α-蒎烯、松油醇、甲基萘,及其混合物。
6.权利要求1的方法,其中沉积通过喷墨印刷进行。
7.权利要求1的方法,其中平面沉积特征物加热到150℃或更低的温度。
8.权利要求1的方法,其中平面沉积特征物具有至少30微米的宽度。
9.权利要求1的方法,其中高分辨率特征物的宽度小于10微米。
10.权利要求1的方法,其中液体组合物还包含第二种溶剂,并且其中所述溶剂的沸点比第二溶剂的沸点高至少50℃。
11.权利要求1的方法,其中所述胶粘物质施用到平面沉积特征物的整个表面,使得胶粘物质接触到平面沉积特征物的中心区域和边缘区域,但是移除胶粘物质不会使边缘区域从基底上移除。
12.一种在基底上形成高分辨率特征物的方法,该方法包括:
沉积含有一种金属纳米颗粒和一种溶剂的液体组合物至基底上以形成平面沉积特征物,
通过在沉积期间或沉积之后加热平面沉积特征物至加热的温度而对平面沉积特征物进行退火,从而形成具有中心区域和边缘区域的平面中间特征物,其中所述液体组合物的溶剂具有比加热温度高100℃或更多的沸点,并且其中所述平面中间特征物在其中心区域包含剩余量的溶剂,
施用胶粘物质至平面中间特征物的中心区域的至少一部分,以及
将所述胶粘物质与平面中间特征物的中心区域一起移除,在基底上剩下平面中间特征物的边缘区域,以在基底上形成高分辨率特征物。
13.权利要求12的方法,其中所述胶粘物质施用到平面沉积特征物的整个表面,使得胶粘物质接触到平面沉积特征物的中心区域和边缘区域,但是移除胶粘物质不会使边缘区域从基底上移除。
14.权利要求12的方法,其中金属纳米颗粒选自银、金、铂、钯、铜、钴、锌、铟、锡、铬、镍、银-铜复合物、银-金-铜复合物、银-钯复合物、银-金-钯复合物及其混合物。
15.权利要求12的方法,其中所述金属纳米颗粒还包括具有式X-Y的稳定剂,其中X是烃基,其含有4至24个碳原子,并且其中Y是连接在金属纳米颗粒表面的官能团并且其选自羟基、胺基团、羧酸基团、硫醇基团、黄原酸基团、吡啶基团、吡咯烷酮基团、氨基甲酸基团及其组合。
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