[发明专利]用于臭氧发生器的负载谐振型电源有效

专利信息
申请号: 201210137285.4 申请日: 2006-08-14
公开(公告)号: CN102664536A 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: I·埃尔金;A·R·米勒纳;K·泰兰;M·乔什 申请(专利权)人: MKS仪器股份有限公司
主分类号: H02M5/458 分类号: H02M5/458;H02M7/537;C01B13/11
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 亓云
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 臭氧发生器 负载 谐振 电源
【权利要求书】:

1.一种电源,包括:

功率源;

谐振电路,在所述功率源和臭氧发生单元之间直接耦合,所述谐振电路与所述臭氧发生单元并联耦合,其中所述谐振电路具有大于或等于10的Q-因子;以及

功率源把第一AC电压提供给谐振电路,谐振电路提供用于所述臭氧发生单元的第二AC电压,第二AC电压大于第一AC电压。

2.如权利要求1所述的电源,其特征在于,所述谐振电路响应于频率接近谐振电路的谐振频率的第一AC电压,把谐振的电压施加于臭氧发生单元。

3.如权利要求1所述的电源,其特征在于,所述谐振电路是包括与谐振电容器串联耦合的谐振电感器的串联谐振电路。

4.如权利要求3所述的电源,其特征在于,所述谐振电容器是独立的电容器、臭氧发生单元的固有电容、或独立电容器和臭氧发生单元的固有电容两者的组合。

5.如权利要求1所述的电源,其特征在于,所述谐振电路是包括与谐振电容器并联耦合的谐振电感器的并联谐振电路。

6.如权利要求5所述的电源,其特征在于,所述谐振电容器是独立的电容器、臭氧发生单元的固有电容、或独立电容器和臭氧发生单元的固有电容两者的组合。

7.如权利要求1所述的电源,其特征在于,所述功率源是半桥式反相器。

8.如权利要求1所述的电源,其特征在于,所述功率源是全桥式反相器。

9.如权利要求1所述的电源,其特征在于,所述功率源是开关功率源。

10.如权利要求9所述的电源,其特征在于,所述开关元件是MOSFET、BJT、或IGBT。

11.如权利要求1所述的电源,还包括:

控制器,所述控制器把信号提供给功率源,致使功率源调制第一AC电压,从而产生具有所期望的电压幅值的第二AC电压。

12.如权利要求11所述的电源,其特征在于,使用脉冲宽度调制来调制所述第一AC电压。

13.如权利要求11所述的电源,其特征在于,使用频率调制来调制所述第一AC电压。

14.如权利要求11所述的电源,其特征在于,所述控制器把信号提供给功率源,从而使谐振电路在其谐振频率处或接近其谐振频率处工作。

15.如权利要求14所述的电源,其特征在于,所述控制器通过将检测的输入DC电流与设置点输入电流进行比较,而调谐到谐振电路的最大工作频率并且逼近电路的谐振频率以得到所期望的工作电平。

16.如权利要求15所述的电源,其特征在于,所述控制器通过将检测的谐振电流与设置点谐振电流进行比较,而在自调谐到谐振电路的最大工作频率期间控制臭氧发生单元的谐振电压,并且逼近电路的谐振频率。

17.一种为臭氧产生提供电能的方法,包括:

在功率源和臭氧发生单元之间直接耦合一谐振电路,所述谐振电路与所述臭氧发生单元并联耦合,其中所述谐振电路具有大于或等于10的Q-因子;

将来自功率源的第一AC电压提供给谐振电路;以及

将来自谐振电路的第二AC电压提供给臭氧发生单元,第二AC电压大于第一AC电压。

18.如权利要求17所述的方法,还包括:

响应于其频率接近谐振电路的谐振频率的第一AC电压,将来自谐振电路的谐振的电压提供给臭氧发生单元。

19.如权利要求17所述的方法,还包括:

通过耦合与谐振电容器串联的谐振电感器,形成串联谐振电路。

20.如权利要求19所述的方法,其特征在于,所述谐振电容器是独立的电容器、臭氧发生单元的固有电容、或独立电容器和臭氧发生单元的固有电容两者的组合。

21.如权利要求17所述的方法,还包括:

通过耦合与谐振电容器并联的谐振电感器,形成并联谐振电路。

22.如权利要求21所述的方法,其特征在于,所述谐振电容器是独立的电容器、臭氧发生单元的固有电容、或独立电容器和臭氧发生单元的固有电容两者的组合。

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