[发明专利]连续式卷绕溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201210113679.6 | 申请日： | 2012-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN102994963A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金烈 | 申请（专利权）人： | 深圳市金凯新瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 殷齐齐 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连续 卷绕 溅射 镀膜 | ||
1.一种连续式卷绕溅射镀膜机，包括真空镀室，其特征在于：
还包括阴极小室，阴极小室的开口直接连通所述真空镀室，所述阴极小室突出于真空镀室的侧壁之外；所述阴极小室的侧壁具有冷却板，冷却板内具有与制冷装置连通的水管。
2.根据权利要求1所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：所述阴极小室共设置2-9个，每个阴极小室具有独立的抽气分子泵及双气流补气装置。
3.根据权利要求2所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：各阴极小室之间设置气氛引导隔离板。
4.根据权利要求2或3所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：所述阴极小室呈六面体状，六面体的五个面封闭，所述开口设置于另一个面。
5.根据权利要求4所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：所述真空镀室的侧壁与所述阴极小室采用紧固件连接或焊接为一体。
6.根据权利要求5所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：所述阴极小室可以承受0.0000001Torr的真空压力。
7.根据权利要求1所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：包括阴极对靶，构成阴极对靶的两个阴极单靶之靶面具有夹角。
8.根据权利要求7所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：还包括弧形阳极基板，在垂直于弧形阳极基板之弧形轴心的平面内，所述两个阴极单靶之靶面之中垂线均通过弧形阳极基板之弧形的轴心点。
9.根据权利要求1所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：所述阴极小室共设置2-7个，每个阴极小室具有独立的抽气分子泵及双气流补气装置；各阴极小室之间设置气氛引导隔离板。
10.根据权利要求9所述的连续式卷绕溅射镀膜机，其特征在于：还包括阴极对靶，构成阴极对靶的两个阴极单靶之靶面具有夹角；还包括弧形阳极基板，在垂直于弧形阳极基板之弧形轴心的平面内，所述两个阴极单靶之靶面之中垂线均通过弧形阳极基板之弧形的轴心点。
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