[发明专利]对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的装置及方法

权利要求书

1.一种对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的方法，其特征在于，包含：

步骤1、设置电压测量范围在0~±U1之间的第一源-测量单元（SMU1）； 

设置电压测量范围在0~±U2之间的第二源-测量单元（SMU2）；

设置电压测量范围在0~±U2之间的第三源-测量单元（SMU3）；

配合使用所述的第一、第二源-测量单元，或配合使用所述的第一到第三源-测量单元对场效应管进行漏源击穿电压测试，使得测试时所述场效应管的漏极和源极之间的电压在0 ~ a范围内调整，其中电压值a = |U1| + |U2|，且a大于等于该场效应管标称的漏源击穿电压；

步骤2、由所述第二源-测量单元（SMU2），向所述场效应管的源极施加源极电压U_S，所述源极电压U_S的调整范围为 -U2 ≤U_S ≤ 0；

由所述第二源-测量单元（SMU2）或所述第三源-测量单元（SMU3），向所述场效应管的栅极施加栅极电压U_G，并且，使所述栅极电压U_G与所述源极电压U_S的数值相等；

步骤3、由所述第一源-测量单元（SMU1），向所述场效应管的漏极施加一个恒定的、达到特定值的漏极电流I_D； 

再由所述第一源-测量单元（SMU1）测量此时所述场效应管的漏极电压U_D；所测得的漏极电压U_D在0 ≤U_D ≤U1的范围内；

步骤4、计算测得的所述漏极电压U_D，与给出的源极电压U_S的差值，即U_DS=U_D-U_S，得到所述场效应管实际的漏源击穿电压。

2.如权利要求1所述对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的方法，其特征在于，所述场效应管的漏极电流I_D的特定值是250μA。

3.一种对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的方法，其特征在于，包含：

步骤1、设置电压测量范围在0~±U1之间的第一源-测量单元（SMU1）； 

设置电压测量范围在0~±U2之间的第二源-测量单元（SMU2）；

设置电压测量范围在0~±U2之间的第三源-测量单元（SMU3）；

配合使用所述的第一、第二源-测量单元，或配合使用所述的第一到第三源-测量单元对场效应管进行漏源击穿电压测试，使得测试时所述场效应管的漏极和源极之间的电压在0 ~ a范围内调整，其中电压值a = |U1| + |U2|，且a大于等于该场效应管标称的漏源击穿电压；

步骤2、由所述第二源-测量单元（SMU2），向所述场效应管的源极施加源极电压U_S，所述源极电压U_S的调整范围为 -U2 ≤U_S ≤ 0；

由所述第二源-测量单元（SMU2）或所述第三源-测量单元（SMU3），向所述场效应管的栅极施加栅极电压U_G，并且，使所述栅极电压U_G与所述源极电压U_S的数值相等；

步骤3、由所述第一源-测量单元（SMU1）在0 ≤U_D ≤U1的范围内进行电压扫描，来向所述场效应管的漏极施加漏极电压U_D； 

由所述第一源-测量单元（SMU1）测量所述场效应管的漏极电流I_D，再由所述第二源-测量单元（SMU2）测量所述场效应管的源极电流I_S；

步骤4、当测得的漏极电流I_D和源极电流I_S都达到同一个特定值时，停止电压扫描，并记录此时所述第一源-测量单元（SMU1）输出的漏极电压U_D；

计算所述漏极电压U_D与所述源极电压U_S的差值，即U_DS=U_D-U_S，得到所述场效应管实际的漏源击穿电压。