[发明专利]共振换能器及其制造方法、具共振换能器的超声处置工具有效
| 申请号： | 201210048313.5 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN102648862A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 平林恭稔;藤井隆满 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | A61B17/00 | 分类号： | A61B17/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 陈源;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 共振 换能器 及其 制造 方法 超声 处置 工具 | ||
【权利要求书】：
1.一种共振换能器，包括：
振动板；以及
压电元件，其包括层压在所述振动板上的压电膜和上电极，其中，
所述压电膜被施加有压缩应力。
2.根据权利要求1所述的共振换能器，其中，
所述振动板在与形成有所述压电元件的表面平行的方向上以扩展/收缩方式振动。
3.根据权利要求1或2所述的共振换能器，其中，
所述压电膜具有等于或大于1μm且等于或小于5μm的厚度。
4.根据权利要求1或2所述的共振换能器，其中，
所述压电膜的内应力为等于或大于100MPa的压缩应力。
5.根据权利要求1或2所述的共振换能器，其中，
所述压电膜的内应力是等于或大于300MPa的压缩应力。
6.根据权利要求1或2所述的共振换能器，其中，
所述振动板具有仅在与所述振动板的振动方向垂直的方向上被支持的表面。
7.根据权利要求1或2所述的共振换能器，其中，
所述振动板具有比所述压电膜的热膨胀系数大的热膨胀系数。
8.一种制造共振换能器的方法，包括以下步骤：
在等于或高于400℃的温度下在振动板上形成压电膜，所述压电膜具有比所述振动板的热膨胀系数小的热膨胀系数；以及
使所述振动板和所述压电膜的温度返回至室温，其中，
由于所述振动板与所述压电膜之间的热膨胀系数差而将压缩应力施加至所述压电膜。
9.一种超声手术工具，包括根据权利要求1或2所述的共振换能器。
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