[发明专利]无耦合运动的二维微位移工作台

权利要求书

1.无耦合运动的二维微位移工作台，包括：基板(1)、外层柔性铰链杆(2)、驱动支座(3)、电致伸缩器件(4)、内层柔性铰链杆(5)、工作台(6)，

所述工作台(6)沿X、Y方向对称分布有四个工作台凸缘(7)；

所述驱动支座(3)用于连接基板(1)与工作台(6)，包括一个驱动支座跨梁(9)和位于支座跨梁两侧的驱动支座侧板(8)，驱动支座(3)通过外层柔性铰链杆(2)与基板(1)连接，通过内层柔性铰链杆(5)与工作台连接，所述内层柔性铰链杆(5)一端连接驱动支座侧板(8)，另一端连接工作台凸缘；

所述电致伸缩器件(4)有两个，其中X、Y方向各一个，所述电致伸缩器件(4)一端顶紧工作台的凸缘(7)，另一端顶在驱动支座跨梁(9)上。

2.根据权利要求1所述的无耦合运动的二维微位移工作台，其特征在于：所述外层柔性铰链杆(2)、驱动支座(3)、内层柔性铰链杆(5)、工作台(6)与基板(1)是一体的，整体为对称无装配结构，所有转动点由柔性铰链构成。

3.根据权利要求1所述的无耦合运动的二维微位移工作台，其特征在于：所述内层柔性铰链杆(5)有四组，分别沿X、Y方向平行对称分布，每一组由四根相互平行的柔性铰链杆构成，分别连接在驱动支座侧板(8)与工作台凸缘(7)上。