[发明专利]半导体装置及用于制造半导体装置的方法有效

专利信息
申请号: 201210028789.2 申请日: 2012-02-09
公开(公告)号: CN102651334A 公开(公告)日: 2012-08-29
发明(设计)人: 酒井泰治;常信和清;今田忠纮;今泉延弘;冈本圭史郎 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768;H01L21/335;H01L23/538;H01L29/778;H03F1/32
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 陈炜;李德山
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 用于 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种用于制造半导体装置的方法,包括:

将包括连接导电膜的密封层放置在结构的表面上,使得所述连接导电膜与半导体元件的电极和引线相接触;

通过所述连接导电膜使所述电极与所述引线电耦接;以及

通过所述密封层密封所述半导体元件。

2.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:

形成辅助层以填充所述电极与所述引线之间的间隙。

3.根据权利要求2所述的用于制造半导体装置的方法,

其中所述辅助层具有基本平坦的表面。

4.根据权利要求2所述的用于制造半导体装置的方法,

其中所述辅助层包括耐热树脂。

5.根据权利要求2所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:

向所述电极和所述引线按压触所述膜。

6.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:

使用喷射型点胶机形成所述连接导电膜。

7.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:

通过电镀法形成所述连接导电膜。

8.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:

使用与所述表面的形状相配合的结构形成所述密封层;以及

去除所述结构。

9.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,

其中所述半导体元件包括化合物半导体元件。

10.一种半导体装置,包括:

引线和引线框架,在所述引线和所述引线框架的表面之间具有高度差;

化合物半导体元件,其被设置于所述引线框架上且包括电极;

辅助层,其用于填充所述电极、所述引线和所述引线框架之间的间隙;

连接导电膜,其用于通过所述辅助层电耦接所述电极和所述引线;以及

密封层,其用于密封所述半导体元件。

11.根据权利要求10所述的半导体装置,

其中所述辅助层具有基本平坦的表面。

12.根据权利要求10所述的半导体装置,

其中所述半导体元件包括化合物半导体元件。

13.根据权利要求10所述的半导体装置,

其中所述辅助层包括耐热树脂。

14.一种电子电路,包括:

半导体装置,其包括:

引线和引线框架,在所述引线和所述引线框架的表面之间具有高度差;

化合物半导体元件,其被设置于所述引线框架上且包括电极;

辅助层,其用于填充所述电极、所述引线和所述引线框架之间的间隙;

连接导电膜,其用于通过所述辅助层电耦接所述电极和所述引线;以及

密封层,其用于密封所述半导体元件。

15.根据权利要求14所述的电子电路,其中

所述电子电路包括高频放大器和电源电路中的至少一个,其中,所述高频放大器用于放大高频电压输入,所述电源电路包括变压器、高电压电路和低电压电路。

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