[发明专利]半导体装置及用于制造半导体装置的方法有效
申请号: | 201210028789.2 | 申请日: | 2012-02-09 |
公开(公告)号: | CN102651334A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 酒井泰治;常信和清;今田忠纮;今泉延弘;冈本圭史郎 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L21/335;H01L23/538;H01L29/778;H03F1/32 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 陈炜;李德山 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 用于 制造 方法 | ||
1.一种用于制造半导体装置的方法,包括:
将包括连接导电膜的密封层放置在结构的表面上,使得所述连接导电膜与半导体元件的电极和引线相接触;
通过所述连接导电膜使所述电极与所述引线电耦接;以及
通过所述密封层密封所述半导体元件。
2.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:
形成辅助层以填充所述电极与所述引线之间的间隙。
3.根据权利要求2所述的用于制造半导体装置的方法,
其中所述辅助层具有基本平坦的表面。
4.根据权利要求2所述的用于制造半导体装置的方法,
其中所述辅助层包括耐热树脂。
5.根据权利要求2所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:
向所述电极和所述引线按压触所述膜。
6.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:
使用喷射型点胶机形成所述连接导电膜。
7.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:
通过电镀法形成所述连接导电膜。
8.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,还包括:
使用与所述表面的形状相配合的结构形成所述密封层;以及
去除所述结构。
9.根据权利要求1所述的用于制造半导体装置的方法,
其中所述半导体元件包括化合物半导体元件。
10.一种半导体装置,包括:
引线和引线框架,在所述引线和所述引线框架的表面之间具有高度差;
化合物半导体元件,其被设置于所述引线框架上且包括电极;
辅助层,其用于填充所述电极、所述引线和所述引线框架之间的间隙;
连接导电膜,其用于通过所述辅助层电耦接所述电极和所述引线;以及
密封层,其用于密封所述半导体元件。
11.根据权利要求10所述的半导体装置,
其中所述辅助层具有基本平坦的表面。
12.根据权利要求10所述的半导体装置,
其中所述半导体元件包括化合物半导体元件。
13.根据权利要求10所述的半导体装置,
其中所述辅助层包括耐热树脂。
14.一种电子电路,包括:
半导体装置,其包括:
引线和引线框架,在所述引线和所述引线框架的表面之间具有高度差;
化合物半导体元件,其被设置于所述引线框架上且包括电极;
辅助层,其用于填充所述电极、所述引线和所述引线框架之间的间隙;
连接导电膜,其用于通过所述辅助层电耦接所述电极和所述引线;以及
密封层,其用于密封所述半导体元件。
15.根据权利要求14所述的电子电路,其中
所述电子电路包括高频放大器和电源电路中的至少一个,其中,所述高频放大器用于放大高频电压输入,所述电源电路包括变压器、高电压电路和低电压电路。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士通株式会社,未经富士通株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210028789.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种改进型防海盗电网及方法
- 下一篇:集装箱数据中心箱体连接装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造