[发明专利]振动片、振子、振荡器以及电子设备无效
| 申请号: | 201210022419.8 | 申请日: | 2012-02-01 |
| 公开(公告)号: | CN102629861A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
| 发明(设计)人: | 舟川刚夫;山崎隆 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03H9/02 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 振动 振荡器 以及 电子设备 | ||
1.一种振动片,其特征在于,该振动片具有:
基材,其具有基部、和从所述基部延伸的振动臂;
第1电极,其设置在所述振动臂上;
第2电极,其设置在所述第1电极的上方;以及
压电体,其配置在所述第1电极和所述第2电极之间,
所述第1电极和所述第2电极中的至少一方的材料采用了ITO。
2.根据权利要求1所述的振动片,其特征在于,
在所述第1电极和所述压电体之间具有绝缘体。
3.根据权利要求2所述的振动片,其特征在于,
所述绝缘体的材料采用了SiO2。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的振动片,其特征在于,
所述压电体的材料采用了ZnO。
5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的振动片,其特征在于,
所述基材的材料采用了石英。
6.根据权利要求1至3中的任意一项所述的振动片,其特征在于,
所述基材的材料采用了硅。
7.一种振子,其特征在于,该振子具有:
权利要求1至6中任意一项所述的振动片;以及
收纳所述振动片的封装。
8.一种振荡器,其特征在于,该振荡器具有:
权利要求1至6中任意一项所述的振动片;以及
使所述振动片振荡的振荡电路。
9.一种电子设备,其特征在于,该电子设备具有权利要求1至6中任意一项所述的振动片。
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