[发明专利]垂直腔面发射激光器

权利要求书

1.一种面发射激光器，包含：

光栅层，所述光栅层具有亚波长光栅，以与反射层形成用于从光发射层发射的光的波长的共振腔；

孔隙层，所述孔隙层具有孔隙，所述孔隙层设置于所述共振腔内；以及

电荷载流子传输层，所述电荷载流子传输层设置于所述光栅层和所述光发射层之间，所述传输层具有与所述亚波长光栅相邻的间隙以及所述间隙和所述光发射层之间的间隔区域，所述间隔区域和所述间隙被制作成具有对所述波长基本透明的尺度，所述孔隙层引导电荷载流子进入所述光发射层的与所述孔隙相邻的区域，并且所述孔隙限制从所述光发射层发射的光模。

2.根据权利要求1所述的激光器，其中，所述孔隙层设置于所述传输层和所述光发射层之间，使得所述传输层的部分穿过所述孔隙与所述光发射层接触。

3.根据权利要求1所述的激光器，其中，所述孔隙层设置于所述光发射层和所述反射层之间，使得所述反射层的部分穿过所述孔隙与所述光发射层接触。

4.根据权利要求1所述的激光器，其中，所述反射层是分布式布拉格反射器。

5.根据权利要求1所述的激光器，包含：第一环形接触部，所述第一环形接触部设置于所述光栅层上，所述环形接触部包含开口，所述亚波长光栅通过所述开口暴露；以及第二接触部，所述第二接触部设置于所述反射层上；其中，所述第一接触部由p类型(n类型)材料构成并且所述第二接触部由n类型(p类型)材料构成。

6.根据权利要求1所述的激光器，其中，所述传输层包含形成与所述亚波长光栅相邻的所述间隙的凹进区域。

7.一种激光器阵列，包含：

反射层；以及

若干面发射激光器，每一个激光器包含：

光发射层；

光栅层，所述光栅层具有亚波长光栅，以与所述反射层形成用于从所述光发射层发射的光的波长的共振腔；

孔隙层，所述孔隙层具有设置于所述共振腔内的孔隙；以及

电荷载流子传输层，所述电荷载流子传输层设置于所述光栅层和所述光发射层之间，其中，如权利要求1中描述的那样配置所述孔隙层和传输层。

8.一种面发射激光器，包含：

共振腔，所述共振腔与从设置于所述共振腔内的光发射层发射的光的波长发生共振；

电荷载流子传输层，所述电荷载流子传输层设置于所述共振腔内并且与所述光发射层接触；以及

孔隙层，所述孔隙层包含孔隙，所述孔隙层设置为与所述光发射层相邻，所述传输层具有与所述共振腔的第一反射层相邻的间隙以及在所述间隙和所述光发射层之间的间隔区域，所述间隔区域和所述间隙被制作成具有对所述波长基本透明的尺度，所述孔隙层引导电荷载流子进入所述光发射层的与所述孔隙相邻的区域，并且所述孔隙限制从所述光发射层发射的光模。

9.根据权利要求8所述的激光器，其中，所述孔隙层设置于所述传输层和所述光发射层之间，使得所述传输层的部分穿过所述孔隙与所述光发射层接触。

10.根据权利要求8所述的激光器，其中，所述孔隙层设置于所述光发射层和所述共振腔的反射层之间，使得所述反射层的部分穿过所述孔隙与所述光发射层接触。

11.根据权利要求8所述的激光器，其中，所述第一反射层是具有与所述间隙相邻的亚波长光栅的光栅层。

12.根据权利要求8所述的激光器，其中，所述共振腔包含作为第二反射层的分布式布拉格反射器。

13.根据权利要求8所述的激光器，包含：第一环形接触部，所述第一环形接触部设置于所述光栅层上，所述环形接触部包含开口，所述亚波长光栅通过所述开口暴露；以及第二接触部，所述第二接触部设置于所述反射层上；其中，所述第一接触部由p类型(n类型)材料构成并且所述第二接触部由n类型(p类型)材料构成。

14.根据权利要求8所述的激光器，其中，所述传输层包含形成与所述亚波长光栅相邻的所述间隙的凹进区域。

15.一种激光器阵列，包含：

反射层；以及

若干面发射激光器，每一个激光器包含：

共振腔，所述共振腔与从设置于所述共振腔内的光发射层发射的光的波长发生共振；

电荷载流子传输层，所述电荷载流子传输层设置于所述共振腔内并且与所述光发射层接触；以及

孔隙层，所述孔隙层包含孔隙，所述孔隙层设置为与所述光发射层相邻，其中，如权利要求1中描述的那样配置所述孔隙层和传输层。