[发明专利]放射线图像检测装置及其制造方法

权利要求书

1.一种放射线图像检测装置，包括：

闪烁体，所述闪烁体被构成为通过放射线的照射而发出荧光，以及

光检测器，所述光检测器被构成为将从所述闪烁体发射的荧光检测作为电信号，

其中，所述闪烁体包括柱状部和第一非柱状部，所述柱状部沿所述放射线的行进方向被布置在所述光检测器的后侧处并且由通过荧光物质的晶体的柱状生长而获得的柱状晶体的群形成，所述第一非柱状部被设置在所述柱状部的光检测器侧处。

2.根据权利要求1所述的放射线图像检测装置，其中，所述第一非柱状部具有10%或以下的孔隙率。

3.根据权利要求1或2所述的放射线图像检测装置，其中，所述第一非柱状部具有3μm或以上且50μm或以下的厚度。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述第一非柱状部包括荧光物质的晶体为大体球形或不定形的非柱状晶体的群，并且

被包括在所述第一非柱状部中的所述非柱状晶体的至少一部分在垂直于所述第一非柱状部的厚度方向的面内方向上被融合。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述闪烁体包括第二非柱状部，所述第二非柱状部设置在所述柱状部的第一非柱状部侧的相对侧。

6.根据权利要求5所述的放射线图像检测装置，其中，所述第二非柱状部包括所述荧光物质的晶体为大体球形或不定形的非柱状晶体的群，并且

被包括在所述第二非柱状部中的所述非柱状晶体的至少一部分在垂直于所述第二非柱状部的厚度方向的面内方向上被融合。

7.根据权利要求5或6所述的放射线图像检测装置，其中，所述第一非柱状部的孔隙率小于所述第二非柱状部的孔隙率。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述第一非柱状部的厚度小于所述第二非柱状部的厚度。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述光检测器包括传感器板，所述传感器板包括光电变换元件，并且

所述传感器板接合到所述闪烁体的所述第一非柱状部侧的一部分。

10.根据权利要求9所述的放射线图像检测装置，其中，所述第一非柱状部设置在所述柱状部的晶体生长方向的前端部的至少所述柱状晶体之间，以平坦化所述闪烁体。

11.根据权利要求1至8中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述光检测器包括传感器板，所述传感器板形成有光电变换元件，并且

所述闪烁体通过气相沉积方法气相沉积在所述传感器板上。

12.根据权利要求11所述的放射线图像检测装置，其中，所述闪烁体的所述第一非柱状部和所述柱状部在所述传感器板上以该顺序形成，并且

所述第一非柱状部内的、与所述传感器板的最外层相接触的一部分具有0或大体0的孔隙率。

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述闪烁体由保护膜覆盖。

14.根据权利要求13所述的放射线图像检测装置，其中，所述保护膜是聚对二甲苯。

15.根据权利要求13或14所述的放射线图像检测装置，其中，所述保护膜通过气相沉积方法被气相沉积。

16.根据权利要求1至15中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，在所述闪烁体中，至少所述柱状部被形成为包括CsI和Tl。

17.根据权利要求1至16中的任一项所述的放射线图像检测装置，所述放射线图像检测装置被构造为便携式盒。

18.一种用于制造权利要求1至17中的任一项所述的放射线图像检测装置的方法，其中，所述闪烁体的所述柱状部和所述第一非柱状部通过气相沉积方法将所述荧光物质的晶体沉积在支持体上而形成在所述支持体上，并且

通过改变在形成所述柱状部时的真空度、支持体温度、和蒸发率当中的至少一个条件来形成所述第一非柱状部。