[发明专利]薄膜太阳能电池的制造方法及薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：

在形成于基板（1）上的第一电极层（2）形成第一分离槽部（5、5A），从而形成各自电气性独立的多个第一电极部（2a）的工序（S101）；

使测定端子（15）分别与所述多个第一电极部（2a）中的彼此邻接的第一电极部（2a）接触，从而确认所述邻接的第一电极部（2a）彼此之间的绝缘性的绝缘试验工序（S102）；

在所述第一电极层（2）上形成光电转换层（3）的工序（S103）；

在所述光电转换层（3）形成接触线用槽部（6）的工序（S104）；

在所述光电转换层（3）上形成第二电极层（4），并且在所述接触线用槽部（6）内形成将所述第一电极层（2）与所述第二电极层（4）连接的接触线的工序（S105）；

至少在所述第二电极层（4）形成第二分离槽部（7）的工序（S106）；

形成从所述第二电极层（4）达到所述第一电极层（2）的、将发电区域与非发电区域分开的第三分离槽部（16）的工序（S107）；

在所述第一电极部（2a）中，所述测定端子（15）所接触的区域包含在所述非发电区域内。

2.如权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

通过蚀刻形成所述第三分离槽部（16）。

3.如权利要求1或2所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

依次层积p型半导体层、i型半导体层及n型半导体层而形成所述光电转换层（3）。

4.一种薄膜太阳能电池，其特征在于，包括：

基板（1）；

形成在所述基板（1）上的第一电极层（2）；

形成在所述第一电极层（2）上的光电转换层（3）；

形成在所述光电转换层上的第二电极层（4）；

将所述第一电极层（2）分开的第一分离槽部（5、5A）；

将所述第一电极层（2）与所述第二电极层（4）连接的接触线；

至少将所述第二电极层（4）分开的第二分离槽部（7）；

第三分离槽部（16），其从所述第二电极层（4）达到所述第一电极层（2），将发电区域与非发电区域分开；

所述第一电极层（2）包括被所述第一分离槽部（5、5A）分开且各自电气性独立的多个第一电极部（2a），

所述多个第一电极部（2a）分别具有与测定端子（15）接触的接触区域，所述测定端子（15）为确认相互邻接的第一电极部（2a）彼此之间的绝缘性而抵接，

所述接触区域位于所述非发电区域内。

5.如权利要求4所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，

在所述接触区域中，存在不与所述第三分离槽部（16）的形成区域重叠的部分。

6.如权利要求4或5所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，

所述光电转换层（3）具有依次层积有p型半导体层、i型半导体层及n型半导体层的层积结构。

7.如权利要求4至6中任一项所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，

所述非发电区域以包围在所述发电区域的周围的方式设置，

所述非发电区域的内边缘位于距所述基板的边缘6.4mm以上、30mm以下的范围内。