[发明专利]振动陀螺仪及其相应制造方法

权利要求书

1.一种振动陀螺仪(1)，其特征在于，所述振动陀螺仪(1)包括：

基底(2)；

共振装置(3)，包括大体呈柱状的主体(4)，所述主体(4)终止于与所述基底(2)相对的一侧的远端面(5)，所述面(5)包括至少一个通孔(13)；

多个压电元件(10)，设置成与所述共振装置(3)相接触；

模块(18)，用于振动的控制和处理且至少部分地设置在所述基底(2)中；以及

至少一个电气连接件(15)，通过所述孔(13)穿过所述共振装置(3)的所述主体(4)，并且将所述基底(2)的所述模块(18)与所述多个压电元件(10)电连接以控制和测量所述共振装置(3)的振动。

2.如权利要求1所述的陀螺仪(1)，其中：

所述面(5)包括设置在其周边上的多个通孔(13)，以及

所述陀螺仪(1)还包括多个电连接件(15)，所述多个电连接件(15)穿过所述孔(13)的至少一个子组件以用于所述基底(2)的所述模块(18)与所述多个压电元件(10)的电连接。

3.如权利要求2所述的陀螺仪(1)，其中：

所述孔(13)大体均匀地设置在所述面(5)的周边上，以及

所述压电元件(10)设置在所述孔(13)之间。

4.如权利要求1至3中任一项所述的陀螺仪(1)，包括互连电路(20)，所述互连电路(20)连接所述多个电连接件(15)并且被连接至所述压电元件(10)。

5.如权利要求1所述的陀螺仪(1)，包括连接脚(21)，所述连接脚(21)位于所述共振装置(3)与所述基底(2)之间并且设置在所述共振装置的所述面(5)的中心孔(13)的延伸方向上。

6.如权利要求5所述的陀螺仪(1)，其中所述基底(2)的所述模块(18)与所述压电元件(10)通过穿过所述连接脚(21)的至少一个电连接件连接。

7.如权利要求1至6中任一项所述的陀螺仪(1)，其中：

-所述多个压电元件(10)的一部分能够检测所述共振装置的振动；以及

-所述多个压电元件(10)的其他部分能够激发所述共振装置振动。

8.如权利要求1至6中任一项所述的陀螺仪(1)，其中每个压电元件(10)同时包括：

能够检测所述共振装置的振动的子元件(23)；以及

能够激发所述共振装置的振动的子元件(24)。

9.如权利要求8所述的陀螺仪，其中，

所述共振装置能够根据第一振动模式振动，所述第一振动模式包括分布在两个轴上的波腹；

所述共振装置能够根据第二振动模式振动，所述第二振动模式包括分布在两个其他轴上的波腹；

在所述第一振动模式和所述第二振动模式的每个轴上，所述共振装置的所述面包括两个压电元件(10)，每个压电元件(10)同时包括：

能够激发所述共振装置的振动的至少一个压电子元件(23)；以及

能够检测所述共振装置的振动的至少一个压电子元件(24)。

10.一种振动陀螺仪(1)的制造方法，包括：

提供基底(2)；

形成共振装置(3)，所述共振装置(3)包括大体呈柱状的主体(4)，所述主体(4)终止于与所述基底(2)相对的一侧的远端面(5)，所述面(5)包括至少一个通孔(13)；

将多个压电元件(10)与所述共振装置(3)相接触地设置；

将所述共振装置(3)机械地组装在所述基底(2)上；

将振动控制与处理模块(18)放置在所述基底(2)中；以及

通过经所述孔(13)穿过所述共振装置(3)的所述主体(4)的至少一个电连接件(15)，将所述基底(2)的所述模块(18)与所述多个压电元件(10)电连接，以用于控制和测量所述共振装置(3)的振动。