[发明专利]机电转换器件及其制造方法及液滴排出头和液滴排出设备

权利要求书

1.一种制造机电转换器件的制造方法，包括：

在基板上形成振动板；

在所述振动板上形成由金属制成的第一电极；

在所述第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；

涂布表面改性材料，并仅对所述第一电极实施表面改性；

在所述第二电极上形成机电转换膜；以及

在所述机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：

在形成所述机电转换膜之前，在所述第二电极上实施表面改性，并使所述第二电极成为亲水性的。

3.如权利要求2所述的方法，其中，将硅烷化合物用于实施所述第二电极的表面改性。

4.如权利要求1所述的方法，其中，在形成所述第二电极时，使第一电极上的除了形成所述第二电极的区域之外的区域经受表面改性以变得抗水，并在形成所述第二电极且不憎水而亲水的区域上通过喷墨方法形成所述第二电极。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述第二电极的材料是由化学式ABO₃表示且包括作为主要成分的A和B的复合氧化物，其中A为Sr、Ba、Ca和La中的任一个或多个，而B为Ru、Co和Ni中的任一个或多个；或者是包含IrO₂和RuO₂中的任一个的氧化物。

6.如权利要求1所述的方法，还包括：

在形成所述第三电极之后，形成具有接触孔并覆盖所述第一电极和所述第三电极的绝缘保护膜。

7.如权利要求6所述的方法，还包括：

在所述绝缘保护膜上形成由金属制成的第四电极，所述第四电极经由所述接触孔与所述第一电极连通，并充当公用电极。

8.如权利要求6所述的方法，还包括：

在所述绝缘保护膜上形成由金属制成的第五电极，所述第五电极经由所述接触孔与所述第三电极连通，并充当单独电极。

9.一种机电转换器件，包括：

基板；

形成在所述基板上的振动板；

形成在所述振动板上的由金属制成的第一电极，仅在所述第一电极上涂布表面改性材料，并实施表面改性；

形成在所述第一电极上的由导电氧化物制成的第二电极；

形成在所述第二电极上的机电转换膜；以及

形成在所述机电转换膜上的由导电氧化物制成的第三电极。

10.如权利要求9所述的机电转换器件，还包括：

覆盖所述第一电极和所述第三电极的绝缘保护膜；

形成在所述绝缘保护膜上的由金属制成的第四电极，所述第四电极经由形成在所述绝缘保护膜上的接触孔与所述第一电极连通；以及

形成在所述绝缘保护膜上的由金属制成的第五电极，所述第五电极经由形成在所述绝缘保护膜上的接触孔与所述第三电极连通。

11.如权利要求9所述的机电转换器件，其中，所述第二电极的材料是由化学式ABO₃表示且包括作为主要成分的A和B的复合氧化物，其中A为Sr、Ba、Ca和La中的任一个或多个，而B为Ru、Co和Ni中的任一个或多个；或者是包含IrO₂和RuO₂中的任一个的氧化物。

12.如权利要求10所述的机电转换器件，其中，所述第三电极和所述第五电极是单独电极，所述第一电极和所述第四电极是公用电极。

13.一种液滴排出头，包括：如权利要求9所述的机电转换器件。

14.一种液滴排出设备，包括：如权利要求13所述的液滴排出头。

15.一种制造机电转换器件的制造方法，包括：

在基板上形成振动板；

在所述振动板上形成由导电氧化物制成的第一电极；

在所述第一电极上形成由金属制成的第二电极；

涂布表面改性材料，并仅对所述第二电极实施表面改性；

在所述第一电极上形成机电转换膜；以及

在所述机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。

16.如权利要求15所述的方法，还包括：

在形成所述机电转换膜之前，在所述第一电极上实施表面改性，并使所述第一电极成为亲水性的。