[发明专利]层叠体、带有支撑板的显示装置用面板、显示装置用面板以及显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及层叠体、带有支撑板的显示装置用面板、显示装置用面板以及显示装置。

背景技术

近年来，太阳能电池(PV)、液晶显示器(LCD)、有机EL显示器(OLED)等设备(电子设备)正在进行薄型化、轻量化，这些设备中使用的基板也在进行薄板化。若因薄板化而导致基板的强度不足，则在设备的制造工序中，基板的操作性会降低。

因此，一直以来广泛采用以下方法：在比最终厚度更厚的基板上形成设备用部件(例如，薄膜晶体管)后，通过化学蚀刻处理而使基板薄板化。然而，在该方法中，例如，在将1张基板的厚度从0.7mm薄板化至0.2mm、0.1mm的情况下，原基板的材料的多半会被蚀刻液削去，因此从生产率、原材料的使用效率这样的观点出发是不优选的。

另外，在上述基于化学蚀刻的基板的薄板化方法中，基板表面存在微细的伤痕时，有时会因蚀刻处理而以伤痕为起点形成微细的凹坑(蚀刻坑，etch pit)，从而成为光学缺陷。

最近，为了应对上述问题而提出了以下方法：准备层叠有基板和增强板的层叠体，在层叠体的基板上形成设备用部件后，从基板剥离增强板(例如，参照专利文献1)。增强板具有玻璃板和固定在该玻璃板上的树脂层，树脂层和基板以能够剥离的方式紧密贴合。增强板从基板被剥离后，能够与新的基板层叠并作为层叠体而再利用。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第07/018028号

发明内容

发明要解决的问题

然而，对于上述现有的构成的层叠体而言，将增强板从基板剥离时，有时树脂层的一部分会附着于作为制品侧的基板。尤其是在高温条件下对层叠体进行加热处理后，频繁地发生树脂层的一部分附着于作为制品侧的基板的情况。可以认为这是由于高温条件下树脂层劣化或者树脂层与基板的紧密贴合强度上升的缘故。

因此，在施加高温处理的设备制造中应用上述层叠体时，树脂层的一部分会附着于基板，结果有可能导致成品率的降低。

进而，将基板从上述层叠体剥离后，杂质、灰尘等容易附着于基板表面，若使用这样的基板制造设备，则有设备产生故障等的担心。可以认为，这样的杂质、灰尘的附着是由于剥离带电而产生的。

本发明是鉴于上述课题而进行的，其目的在于，提供一种层叠体，该层叠体即使在施加了高温加热处理之后，也能够抑制在剥离树脂层和基板时树脂层的一部分附着于作为制品侧的基板、且能够抑制被剥离的基板表面上的剥离带电。

进而，本发明的目的在于，提供包含该层叠体的带有支撑板的显示装置用面板、使用带有支撑板的显示装置用面板形成的显示装置用面板以及显示装置。

用于解决问题的方案

本发明人为了解决上述问题而反复进行了深入研究，从而完成了本发明。

即，为了实现上述目的，本发明的第一方式为一种层叠体，其依次具备：支撑板、树脂层以及带有导电性金属氧化物膜的基板，在该基板的表面上具有导电性金属氧化物膜，所述导电性金属氧化物膜包含选自由铟、锡、锌、钛以及镓组成的组中的至少一种金属的氧化物，前述带有导电性金属氧化物膜的基板以前述导电性金属氧化物膜与前述树脂层能够剥离地紧密贴合的方式配置在前述树脂层上，前述树脂层与前述支撑板之间的剥离强度高于前述树脂层与前述带有导电性金属氧化物膜的基板之间的剥离强度。

第一方式中，前述氧化物中优选还包含选自由铝、钼、铜、钒、铌、钽、硼以及氟组成的组中的至少一种元素。

另外，第一方式中，前述树脂层优选为有机硅树脂层。

另外，前述树脂层优选由有机烯基聚硅氧烷和有机氢聚硅氧烷的加成反应型固化物形成。

进而，前述有机氢聚硅氧烷的键合于硅原子的氢原子相对于前述有机烯基聚硅氧烷的烯基的摩尔比优选为0.5～2。

本发明的第二方式是一种带有支撑板的显示装置用面板，其具有：第一方式的层叠体、以及显示装置用面板的构成部件，其中，所述构成部件设置于前述层叠体中的前述带有导电性金属氧化物膜的基板的、与前述树脂层紧密贴合的表面的相反侧的表面上。

本发明的第三方式是一种显示装置用面板，其是使用第二方式的带有支撑板的显示装置用面板而形成的。

本发明的第四方式是一种显示装置，其具有第三方式的显示装置用面板。

发明的效果