[发明专利]用于清洁工业制造的构件的清洁设备及方法

权利要求书

1.用于清洁工业制造的构件（30）的清洁设备，具有清洁室（2）和用于从清洁室（2）中吸出排气的抽吸器（7）以及具有回收装置（5），在该回收装置中设置有带有冷却寄存器（8）和加热寄存器（9）的冷却机（6），排气被引导通过该冷却寄存器并且同时能被冷却和能被干燥，其中，吸出的排气在回收装置（5）中被引导通过冷却机（6）的加热寄存器（9）并且同时基本上能被加热到排气的温度，以及这样被加热的、被干燥的排气作为被预热的、被干燥的供气通过供气管道（17）能被供应给清洁室（2），其特征在于：所述供气管道（17）在舱壁门（16）的区域内通入清洁室（2）中。

2.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于：在所述供气管道（17）中设有带有排放阀（21）的排放管道（20）。

3.如权利要求1或2所述的清洁设备，其特征在于：所述供气在加热寄存器（9）中基本上能被加热到排气的温度。

4.如权利要求1、2或3所述的清洁设备，其特征在于：在所述冷却寄存器（8）中冷凝的清洁剂能通过冷凝管道（10）被再循环到清洁设备（1）的清洁剂容器（3）中。

5.如权利要求1到4之一所述的清洁设备，其特征在于：设有干燥鼓风机（15），该干燥鼓风机通过干燥鼓风机管道（19）取出一部分被加热的、被干燥的排气并且将其作为供气供应到清洁室（2）中。

6.如权利要求5所述的清洁设备，其特征在于：在所述干燥鼓风机管道（19）中设有带有排放阀（21）的排放管道（20）。

7.如权利要求1到6之一所述的清洁设备，其特征在于：在所述冷却机（6）中设有压缩机（11）和冷却单元，并且在所述冷却寄存器（8）中冷却剂从流过冷却寄存器（8）的排气吸收热量；压缩机（11）将冷却剂压缩并且供应给加热寄存器（9），在这里冷却剂把热量释放给流过加热寄存器（9）的排气冷却剂能从加热寄存器（9）被引导到冷却单元中，在这里冷却剂继续冷却；以及冷却剂能从冷却单元被引导到冷却寄存器（8）中。

8.如权利要求1到7之一所述的清洁设备，其特征在于：设有输入管道（22），该输入管道通入排气管道（18）并且气溶胶能通过该输入管道被引入到来自清洁室（2）的排气中。

9.用来在用于清洁工业制造的构件（30）的清洁设备（1）中回收资源的方法，在该方法中，把来自清洁设备（1）的清洁室（2）的排气引导经过冷却机（6）的冷却寄存器（8），其中，将排气从冷却寄存器（8）引导到冷却机（6）的加热寄存器（9）中并且在那里基本上加热至排气的温度，并且将被加热的、被干燥的排气从那里作为供气重新再循环到清洁室（2）中，其特征在于：为了在舱壁门（16）的区域内形成空气幕，而将供气供应到清洁室（2）中。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于：在舱壁门（16）打开时，将一部分供气通过排放管道（20）释放到环境中。

11.如权利要求9或10所述的方法，其特征在于：将供气在加热寄存器（9）中基本上加热到排气的温度。

12.如权利要求9、10或11所述的方法，其特征在于：将在冷却寄存器（8）中冷凝的清洁剂重新再循环到清洁剂容器（3）中。

13.如权利要求9到12之一所述的方法，其特征在于：将一部分在加热寄存器（9）中被加热的排气通过干燥鼓风机（15）再循环到清洁室（2）中。

14.如权利要求9到13之一所述的方法，其特征在于：在冷却寄存器（8）中冷却剂从流过冷却寄存器（8）的排气吸收热量；将冷却剂在压缩机（11）中压缩并且供应给加热寄存器（9），在这里冷却剂把热量释放给流过加热寄存器（9）的排气将冷却剂从加热寄存器（9）引导到冷却单元中，在这里使冷却剂继续冷却；以及将冷却剂从冷却单元引导到冷却寄存器（8）中。

15.如权利要求9到14之一所述的方法，其特征在于，引入气溶胶到来自清洁室（2）的排气中。