[发明专利]细胞和颗粒过滤用的微筛

权利要求书

1.一种包括两层的微筛，其中：

-第一层是膜层，所述膜层具有包含在其中的多个微孔并且厚度为约10μm~约100μm；和

-第二层是膜支撑层，所述膜支撑层具有包含在其中的多个开口并且厚度为约100μm~约500μm，其中所述开口的直径比所述微孔的直径大，并且其中所述膜层或膜支撑层中的至少一个由SU-8光致抗蚀剂材料形成。

2.如权利要求1所述的微筛，其中所述膜层和膜支撑层都由SU-8光致抗蚀剂材料形成。

3.如权利要求1或2所述的微筛，其中所述开口的直径比所述微孔的直径大至少10倍。

4.如前述权利要求中任一项所述的微筛，其中所述膜层具有约50μm~约100μm的厚度。

5.如前述权利要求中任一项所述的微筛，其中所述膜支撑层具有约200μm~约300μm的厚度。

6.如前述权利要求中任一项所述的微筛，其中所述多个微孔中的每个微孔都具有约5μm~约50μm的孔径。

7.如权利要求6所述的微筛，其中所述多个微孔中的每个微孔都具有约10μm的孔径，所述膜层具有约5,000个微孔/mm²的微孔密度。

8.如前述权利要求中任一项所述的微筛，其中所述微筛已经进行过表面处理以减小流体阻力。

9.如前述权利要求中任一项所述的微筛，其中所述微筛已经用金属层进行过表面涂布。

10.一种制备如权利要求1~9中任一项所述的微筛的方法，包括：

-提供基材；

-用厚度为约10μm~约100μm的第一层涂布所述基材；

-将第一层图案化以在其中形成多个微孔；

-用厚度为约100μm~约500μm的第二层涂布图案化的第一层；和

-将第二层图案化以形成多个开口，其中所述开口的直径比所述微孔的直径大，并且其中第一层或第二层中的至少一个由SU-8光致抗蚀剂材料形成。

11.如权利要求10所述的方法，其中将第一层图案化包括：

-施加限定有对应于将要形成的微孔的点图案的光致抗蚀剂掩模；和

-将具有施加的光致抗蚀剂掩模的第一层暴露于UV光。

12.如权利要求10或11所述的方法，其中将第二层图案化包括：

-施加限定有对应于将要形成的开口的形状图案的光致抗蚀剂掩模；和

-将具有施加的光致抗蚀剂掩模的第二层暴露于UV光。

13.如权利要求10~12中任一项所述的方法，还包括在图案化之后对第一层和第二层进行显影。

14.如权利要求10~13中任一项所述的方法，还包括在涂布第一层之前用溶脱剥离抗蚀剂层涂布所述基材。

15.如权利要求13或14所述的方法，还包括在显影之后除去溶脱剥离抗蚀剂层和/或所述基材。

16.一种用于从流体样本中分离限定尺寸的细胞的装置，其中所述装置包括：

-具有流体样本流入用的进口的进口模块；

-具有流体样本流出用的出口的出口模块；

-如权利要求1~9中任一项所述的微筛，所述微筛具有在所述进口模块和所述出口模块之间排列的用于保留限定尺寸的细胞的微孔，其中所述进口模块、所述出口模块和所述微筛彼此流体连接以允许所述流体样本从所述进口模块穿过到达所述出口模块。

17.一种从流体样本中分离限定尺寸的细胞的方法，所述方法包括过滤疑似包含通过如权利要求16所述的装置的进口模块而将要分离的细胞的流体样本。

18.如权利要求17所述的方法，其中所述流体样本选自全血、尿、培养基和溶解的组织溶液。

19.如权利要求17或18所述的方法，其中将要检测的细胞选自循环肿瘤细胞、上皮细胞、来自溶解的癌组织的癌细胞或癌症干细胞、尿样本中含有的细胞以及从细胞培养基富集的细胞。

20.如权利要求16所述的装置用于过滤全血的用途。

21.如权利要求20所述的用途，用于从全血中分离循环肿瘤细胞。