[发明专利]含有氟的水的处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及含有氟的水的处理方法，具体地，涉及对反应塔向上流通含有氟的水，使其在反应塔内与碳酸钙粒子接触，从而，有效地使氟成为氟化钙而被除去并回收的方法。

背景技术

在半导体制造领域或其相关领域、太阳能电池制造领域、各种金属材料、单晶材料、光学系材料等的表面处理领域中，会有含有氟的废水被挂出。

以往，作为含有氟的水的处理方法，提出了将含有氟的水通入碳酸钙填充塔，使氟转换成结晶性良好的氟化钙予以除去、回收的方法。又，此类方法中，已知有通过下述的所谓的旋转木马方式进行处理含有氟的水，由此，回收高纯度的氟化钙的方法，即，串联地连结2个以上的碳酸钙填充塔，依序将含有氟的水从第一塔通至最终塔，直至第一塔内的碳酸钙与含有氟的水中的氟反应而完全成为氟化钙为止，当第一塔内的碳酸钙完全成为氟化钙时，取出第一塔内的氟化钙后再填充新的碳酸钙，并以此塔做为最终塔进行设置而进行通水（例如，专利文献1～3）。

以往，作为这种处理含有氟的水所用的碳酸钙填充塔中所填充的碳酸钙粒子，由于粒径过度小的碳酸钙粒子会溶解于含有氟的水中而无法供予反应，因此，通常使用粒径为0.3mm左右的碳酸钙粒子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-254571号公报

专利文献2：日本特开平7-136667号公报

专利文献3：日本特开平5-253578号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，粒径0.3mm左右的碳酸钙粒子有以下（1）、（2）缺点。

（1）由于粒子较大，所以很难在填充塔内流动，因此，极易固黏于塔内。

（2）与粒子较小者相比，其比表面积小，因此，与氟的反应速度慢。

为解决此类问题，以往，是通过在填充塔内通入向上流通的含有氟的水并将一部份从塔上部取出的处理水循环于塔下部的循环方式，提高塔内线速度，由此，使塔内的碳酸钙粒子流动防止其固黏，又，经由循环通水使其充分地进行反应。但是，该循环通水方式中，必须为使其循环而提供动力，为循环通水其反应塔容积必须较大，在工业上是不利的。

与此相对，只要为粒径0.05mm以下的小粒径碳酸钙粒子时，流动性高，很难固黏，又由于比表面积大，所以与氟的反应速度也较快，因此，能够不采用循环方式而是采用一次通过（once-through）的方式通水。但是，小粒径的碳酸钙仍有以下（i）、（ii）的问题。

（i）易溶于水，因此，供于与氟反应的比率低。

（ii）以一次通过的方式通水时，塔内线速度小，会引起碳酸钙粒子的流动偏向一边，结果在塔底部等会形成死水区（dead space），此部份的碳酸钙粒子无法供于反应或发生固黏。

本发明的课题是，提供一种使用反应活性及流动性优异的小粒径碳酸钙粒子，并以一次通过的方式对反应塔向上流通含有氟的水，由此，有效地除去、回收氟的方法。

解决课题的方法

本发明人等，对上述需要解决的课题进行了锐意研究，结果发现，并不是将小粒径的碳酸钙粒子预先填充于反应塔后再通入含有氟的水，而是在对反应塔向上流通含有氟的水时，从反应塔的上方投入小粒径的碳酸钙粒子，由此，能够有效地使其与含有氟的水中的氟反应。

本发明是根据该发现而最终完成的，其要旨如下。

第1技术方案的含有氟的水的处理方法，其从反应塔的下部向上流通含有氟的水，通过该反应塔内的碳酸钙粒子与该含有氟的水中的氟反应，使该氟成为氟化钙而除去，并从该反应塔的上部取出被除去氟的处理水，其特征在于，在流通该含有氟的水的该反应塔中，从该反应塔的上部投入碳酸钙粒子。

第2技术方案的含有氟的水的处理方法，其特征在于，第1技术方案中，所述碳酸钙粒子是作为粉体被投入所述反应塔。

第3技术方案的含有氟的水的处理方法，其特征在于，第1或第2技术方案中，相对于被流通入该反应塔的含有氟的水中的氟的反应当量，投入所述反应塔的碳酸钙粒子的投入量是0.9～1.1倍当量。

第4技术方案的含有氟的水的处理方法，其特征在于，第1至第3技术方案的任一技术方案中，控制投入所述反应塔的碳酸钙粒子的投入量，使从该反应塔取出的处理水的pH值是6以下。

第5技术方案的含有氟的水的处理方法，其特征在于，第4技术方案中，控制投入所述反应塔的碳酸钙粒子的投入量，使从该反应塔取出的处理水的pH值是4.5～5。