[发明专利]提高扫描束离子注入机的产量

权利要求书

1.一种用于在工件上执行离子注入的方法，其中工件具有在外边缘处终止的表面，该方法包括：

当离子束的横截面完全撞击在工件的所述表面上时以第一扫描速率跨过工件的所述表面扫描离子束；及

当束的横截面的一部分延伸到工件的外边缘以外时将第一扫描速率增大到第二速率，其中所述部分小于离子束的整个横截面积。

2.根据权利要求1所述的方法，其中横截面的所述部分对应由离子束提供的瞬间束流的大约66％。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

继续以第二速率扫描离子束直到离子束的整个横截面延伸到工件的外边缘以外为止；

以第二扫描速率朝着工件的外边缘向回扫描离子束；及

当束的横截面的第二部分撞击在工件的表面上时，将第二扫描速率降低到第一扫描速率，其中所述第二部分小于离子束的整个横截面积。

4.根据权利要求3所述的方法，其中横截面的第二部分对应由离子束提供的瞬间束流的大约33％。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在位于工件的所述边缘以外的工件外位置处测量实时束通量值；及

基于实时束通量值的函数调整工件和离子束的相对运动。

6.根据权利要求5所述的方法，其中通过调整工件平移的平移速度来实现对工件和离子束的相对运动的调整。

7.根据权利要求5所述的方法，其中通过协同调整工件平移的平移速度以及离子束扫描的速率这两者来实现对工件和离子束之间的相对运动的调整。

8.一种离子注入方法，包括：

将具有外边缘的工件定位在第一平移位置处，其中第一平移位置在平移路径上；

针对第一平移位置确定对应工件的外边缘的第一对点，其中工件的第一表面段在所述第一对点之间延伸；

当离子束的横截面完全落在第一对点之间的第一表面段上时依照第一扫描速率在第一表面段上扫描离子束；及

当离子束的横截面的第一部分落在第一对点外面时，将离子束的扫描速率增大到第二扫描速率，其中第一部分小于离子束的整个横截面积。

9.根据权利要求8所述的方法，其中离子束的横截面的第一部分对应离子束的瞬间束流的大约66％。

10.根据权利要求8所述的方法，还包括：

在将工件定位在平移路径上之前进行校准；

在校准期间在第一对点的外面的第一位置处测量第一组束通量值；

在校准期间在第一对点之间的第二位置处测量第二组束通量值；

基于第一组和第二组束通量值，确定校准期间所提供的预期掺杂轮廓；

如果在期望的掺杂轮廓和预期掺杂轮廓之间有任何差异，则分析该差异；及

如果该差异存在，则提供校准函数以补偿上述差异。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括：

基于校准函数设定第一扫描速率。

12.根据权利要求10所述的方法，还包括：

基于校准函数设定第二扫描速率。

13.根据权利要求10所述的方法，其中依照平移速度，在第一平移位置和第二平移位置之间平移工件；及

其中基于校准函数设定所述平移速度。

14.根据权利要求8所述的方法，还包括：

在对工件进行注入期间，在位于工件的边缘以外的工件外位置处测量实时束通量值。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括：

基于实时束通量值的函数调整第一扫描速率。

16.根据权利要求14所述的方法，还包括：

基于实时束通量值的函数调整第二扫描速率。

17.根据权利要求8所述的方法，还包括：

基于实时束通量值的函数，调整工件相对于离子束平移的平移速度。