[发明专利]具有非线性补偿的角测量的方法和设备

权利要求书

1.借助谐振器进行角测量的方法，所述谐振器与用于设置成振动的装置以及用于检测振动的装置(5.1，5.1)相关联，这些装置连接于处理电路(10，100)，控制信号和测量信号流过所述处理电路，所述方法包括对测量信号进行数字化的步骤以及从测量信号推导出角测量的步骤，其特征在于，所述方法还包括下列步骤：

－执行数字化测量信号的频谱分析，由此检测其中起因于非线性的谐波失真；

－校正流过所述处理电路的至少一些信号，由此使非线性衰减。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述校正关系到所述测量信号。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述校正也关系到所述控制信号。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述数字化过程中，在接近谐振频率的倒数的时长内在相对于所述谐振器的谐振频率更高的频率下对所述测量信号进行采样。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述采样频率至少等于(2n+1)F0，其中F0是谐振频率而n是可观察谐波的最高阶次。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述校正是在谐波幅度估算后借助以反复方式调整的补偿表(116)而执行的。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述幅度的估算是通过最小二乘机制实现的。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，设置成振动的装置和用于检测的装置包括静电元件(5.1，5.2)，所述方法包括识别阶段，所述识别阶段包括步骤：通过以使检测信号的幅度在谐振器的谐振频率下保持恒定的方式驱动谐振器，从而改变所述静电元件的偏置电压。

9.实现作为前面任何一项权利要求的主题的方法的角测量设备，所述设备包括与静电元件(5.1，5.2)关联的谐振器，所述静电元件(5.1，5.2)连接于处理电路(10，100)，控制信号和测量信号流过所述处理电路，所述处理电路包括模/数转换器(13，113)、电荷放大器(12，112)以及处理器件(14，114)，所述处理器件被设计成执行测量信号的频谱分析以检测其中的谐波失真并被设计成借助补偿表(116)校正流过所述处理电路的至少一些信号由此使所述谐波失真衰减。